IC測試的創(chuàng)新
—— Innovation of IC Test
隨著IC制程節(jié)點從90nm向65nm和45nm延伸,需要測試的數(shù)據(jù)量會激增,相應地會帶來測試成本的提高(圖1)。例如,從90nm到65nm時,由于增加了門數(shù),傳統(tǒng)的測試量急劇增加;同時,在速(at-speed)測試也成倍增加,這是由于時序和信號完整性的敏感需求;到了45nm時代,在前兩者的基礎上,又增加了探測新缺陷的測試。
為了提高測試效率,對測試數(shù)據(jù)的壓縮持續(xù)增長。據(jù)ITRS(國際半導體技術發(fā)展路線圖)預測(圖2),2010年的壓縮需求比2009年翻番。
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