Brewer Science發(fā)布新型光感化合物專利 用于MEMS器件制造

　　半導(dǎo)體及微電子市場(chǎng)高新技術(shù)創(chuàng)新公司Brewer Science宣布公司在美國(guó)獲得了一項(xiàng)新專利，該專利是關(guān)于一種新型光感化合物，在MEMS器件的制造過(guò)程中可用作保護(hù)層。