Brewer Science發(fā)布新型光感化合物專利 用于MEMS器件制造

　　半導體及微電子市場高新技術創(chuàng)新公司Brewer Science宣布公司在美國獲得了一項新專利，該專利是關于一種新型光感化合物，在MEMS器件的制造過程中可用作保護層。

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