MEMS技術(shù)將迎來第三次應(yīng)用浪潮

　　在二十世紀(jì)90年代早期，汽車安全氣囊系統(tǒng)就開始大量采用MEMS加速度計(jì)。在其后的十年中，MEMS技術(shù)的第二次應(yīng)用浪潮被掀起。期間，MEMS技術(shù)被大量應(yīng)用，產(chǎn)品種類逐漸增多，相關(guān)技術(shù)被應(yīng)用到各行各業(yè)。第二代技術(shù)和產(chǎn)品取代了前者，并很快成為主流。據(jù)統(tǒng)計(jì)，汽車傳感器市場(chǎng)在2009年規(guī)模就達(dá)到了25億美元。2004至2009年間，全球汽車傳感器市場(chǎng)的年復(fù)合增長(zhǎng)率已經(jīng)達(dá)到了9%左右。而今，第三次MEMS應(yīng)用浪潮正在逼近，越來越多的MEMS加速度計(jì)和陀螺儀將被用于更多更新的技術(shù)領(lǐng)域。

　　第三次應(yīng)用浪潮的臨近

　　在中國(guó)市場(chǎng)，政府正在不遺余力得加大對(duì)汽車產(chǎn)業(yè)的發(fā)展力度，其中汽車傳感器市場(chǎng)成為發(fā)展最迅猛的市場(chǎng)。2009年中國(guó)汽車傳感器市場(chǎng)銷售額接近80億美元，預(yù)計(jì)從2007年到2010年，中國(guó)市場(chǎng)上，汽車傳感器銷售額的年復(fù)合增長(zhǎng)率將高于35%。這種增長(zhǎng)力度和速度著實(shí)不容小視。中國(guó)的傳感器市場(chǎng)分為兩個(gè)方向：高端路線和低價(jià)路線，ADI的MEMS產(chǎn)品是一個(gè)大家庭，囊括了多種定位類別的產(chǎn)品，并致力于滿足不同客戶的需求。

　　在當(dāng)前的MEMS領(lǐng)域，面臨的挑戰(zhàn)主要來自系統(tǒng)級(jí)設(shè)計(jì)、測(cè)試、分析、嵌入式軟件的開發(fā)、以及電源管理技術(shù)。其中優(yōu)化解決方案所需要的許多其它要素也為技術(shù)工程師提出了許多挑戰(zhàn)。我們認(rèn)為，也許在未來的10年中，MEMS傳感器設(shè)計(jì)需要被供應(yīng)商進(jìn)一步優(yōu)化，從而能夠使其提供更加強(qiáng)大的功能，并為使用者降低整體成本做出貢獻(xiàn)。而這對(duì)于MEMS的運(yùn)動(dòng)檢測(cè)的發(fā)展和前進(jìn)步伐也起著至關(guān)重要的作用。

　　對(duì)于MEMS傳感器來說，適宜在汽車電控系統(tǒng)中應(yīng)用是其一大特點(diǎn)。其于近年來被越來越多地應(yīng)用于汽車的發(fā)動(dòng)機(jī)控制系統(tǒng)、車身控制系統(tǒng)和底盤控制系統(tǒng)。其中加速度傳感器在汽車中的應(yīng)用包括電子穩(wěn)定控制、氣囊監(jiān)測(cè)、GPS導(dǎo)航及安全系統(tǒng)、以及翻轉(zhuǎn)監(jiān)測(cè)等。ADI公司20多年來一直是MEMS創(chuàng)新產(chǎn)品的領(lǐng)導(dǎo)者，提供全面的慣性感測(cè)解決方案，包括iMEMS加速度計(jì)和陀螺儀、iSensor智能傳感器以及慣性測(cè)量單元(IMU)，并已通過TS-16949和QS9000認(rèn)證。ADI擴(kuò)展了MEMS產(chǎn)品在諸如安全氣囊，電子穩(wěn)定系統(tǒng)等安全領(lǐng)域的應(yīng)用。迄今為止，ADI公司久經(jīng)驗(yàn)證的運(yùn)動(dòng)信號(hào)處理技術(shù)已經(jīng)生產(chǎn)出超過4億片的傳感器產(chǎn)品。

　　MEMS在汽車電子中的應(yīng)用及發(fā)展

　　多種能量的耦合構(gòu)成了MEMS器件工作原理，微傳感器將非電信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)，而微執(zhí)行器將電能轉(zhuǎn)換為機(jī)械動(dòng)作。與此同時(shí)，IntegratedDesign也在MEMS的設(shè)計(jì)過程中大顯身手。但在MEMS系統(tǒng)的設(shè)計(jì)過程中，往往采用源于IC的技術(shù)方式，而且系統(tǒng)仿真與版圖設(shè)計(jì)，以及器件分析等過程相互脫節(jié)，這就使得有機(jī)集成的設(shè)計(jì)環(huán)境不能夠形成，從而不能夠滿足MEMS市場(chǎng)快速增長(zhǎng)的需要。目前，人們往往使用自上而下(Top-down)的方法設(shè)計(jì)MEMS。由此可見，這種正向并行的方法集成了MEMS設(shè)計(jì)中的所有環(huán)節(jié)，避免了自下而上方式所出現(xiàn)的弊端，使設(shè)計(jì)效率和設(shè)計(jì)質(zhì)量都得到了保證。

　　當(dāng)前，手工設(shè)計(jì)仍然是MEMS的設(shè)計(jì)工作的主要方式，主要依靠于設(shè)計(jì)者的知識(shí)與專業(yè)水平，而VLSI中的數(shù)字邏輯綜合則引領(lǐng)了自動(dòng)化設(shè)計(jì)潮流。

　　一種快速、優(yōu)化的配置可以根據(jù)設(shè)計(jì)者提出的要求，利用優(yōu)化算法以及綜合工具實(shí)現(xiàn)。它可以幫助設(shè)計(jì)人員自動(dòng)生成MEMS器件的拓?fù)鋱D與器件結(jié)構(gòu)尺寸，從而開始MEMS的自動(dòng)化設(shè)計(jì)，節(jié)省人力成本。使非專業(yè)設(shè)計(jì)者也能參與器件的開發(fā)。這種系統(tǒng)綜合，實(shí)現(xiàn)了單個(gè)器件的設(shè)計(jì)綜合，但需要將MEMS系統(tǒng)間的耦合效應(yīng)考慮進(jìn)去，并對(duì)信號(hào)處理與控制電路部分進(jìn)行調(diào)試，除此之外還必須具備完備的MEMS器件單元庫(kù)。

　　MEMS芯片與半導(dǎo)體芯片整合、封裝在一起是集成電路技術(shù)發(fā)展的新趨勢(shì)，也是傳統(tǒng)IC廠商的新機(jī)遇。ADIMEMS技術(shù)簡(jiǎn)化了運(yùn)動(dòng)檢測(cè)在工業(yè)、醫(yī)療、消費(fèi)電子、通信和汽車等眾多領(lǐng)域中的應(yīng)用。用戶之所以選擇ADI公司的iMEMS加速度計(jì)和陀螺儀，是因?yàn)槠淠芴峁I(yè)界最精確的運(yùn)動(dòng)測(cè)量，而且還具有最小的尺寸、最低的功耗和最高的性價(jià)比。

　　在汽車的主動(dòng)與被動(dòng)安全保護(hù)領(lǐng)域，市場(chǎng)趨勢(shì)主要包括以下幾個(gè)方面：首先，傳感器趨于整合，例如將ESP與安全氣囊放置在同一ECU之內(nèi);其次，傳感器的界面將趨于標(biāo)準(zhǔn)化，其中包括數(shù)字界面，SPI、DSI以及PSI5。目前，市場(chǎng)上PSI5的采用率要高于DSI;第三，市場(chǎng)上對(duì)高性能陀螺儀的需求將逐漸增多，尤其是配有高級(jí)駕駛輔助系統(tǒng)如ACC的汽車;第四，中國(guó)和印度等國(guó)家已經(jīng)在司法層面上做出規(guī)定，要求所有汽車100%裝有安全氣囊;第五、歐洲國(guó)家也頒布了有關(guān)行人保護(hù)的法規(guī)，車載衛(wèi)星導(dǎo)航將成為主要趨勢(shì)，因此正面撞擊傳感器將成為主要的解決方案。