晶圓代工廠TowerJazz和新加坡微電子研究院合作開(kāi)發(fā)MEMS產(chǎn)品

　　晶圓代工廠TowerJazz日前宣布的新加坡微電子研究院(IME)擴(kuò)大合作開(kāi)發(fā)8英寸微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)芯片的協(xié)議。雙方合作開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品包括慣性傳感器、壓力傳感器以及為第三方MEMS公司開(kāi)發(fā)的硅片集成微反射鏡系統(tǒng)等。TowerJazz 表示，雙方未來(lái)的合作還將擴(kuò)大到硅通孔(TSV)及先進(jìn)封裝、3維芯片集成、光電子和納米電子等領(lǐng)域。