陶瓷壓力傳感器的簡(jiǎn)介

陶瓷具有高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和震動(dòng)的功能。陶瓷的熱穩(wěn)定性及它的厚膜電阻可以使它的工作溫度范圍高達(dá)－40℃～135℃，而且具有測(cè)量的高精度、高穩(wěn)定性。電器絕緣程度大于2KV，輸出信號(hào)強(qiáng)，長(zhǎng)期穩(wěn)定性好。高特性、低價(jià)格的陶瓷傳感器將是壓力傳感器的發(fā)展方向，在歐美國(guó)家有全面替代其他類型傳感器的趨勢(shì)，在中國(guó)越來(lái)越多的用戶使用陶瓷傳感器替代擴(kuò)散硅壓力傳感器。

抗腐蝕的陶瓷壓力傳感器沒有液體的傳遞，壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面、室膜片的表面，使膜片產(chǎn)生微小的形變，厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面，連接成一個(gè)惠斯通電橋，由于壓敏電阻的壓阻效應(yīng)，使電橋產(chǎn)生一個(gè)與壓力成正比的高度線性，與激勵(lì)電壓成正比的電壓信號(hào)，標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)根據(jù)壓力量程的不同標(biāo)定為2.0、3.0、3.3MV等，可以和應(yīng)變式傳感器相兼容。通過(guò)激光標(biāo)定，傳感器具有很高的溫度穩(wěn)定性和時(shí)間穩(wěn)定性，傳感器自帶溫度補(bǔ)償0℃～70℃，并可以和絕大多數(shù)介質(zhì)直接接觸。

陶瓷厚膜結(jié)構(gòu)與力敏Z－元件的優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)。厚膜壓力傳感器是繼擴(kuò)散硅壓力傳感器之后壓力傳感器的又一次重大的技術(shù)創(chuàng)新，而力敏Z－元件是目前國(guó)內(nèi)外唯一具有數(shù)字信號(hào)輸出的敏感元件，因此陶瓷厚膜工藝與力敏Z－元件的最簡(jiǎn)單電路的巧妙結(jié)合，可以出現(xiàn)一種性能優(yōu)異、成本低廉的新型壓力傳感器。具體來(lái)說(shuō)，陶瓷厚膜工藝有下述優(yōu)點(diǎn)。陶瓷彈性體性能優(yōu)良，平整、均勻、質(zhì)密的材料在程度范圍內(nèi)都嚴(yán)格遵循虎克定律，無(wú)塑性變形。厚膜電阻（包括高溫導(dǎo)線）能與陶瓷彈性膜片牢固地?zé)Y(jié)在一起，不需用膠進(jìn)行粘貼。這種剛性結(jié)構(gòu)蠕變小，漂移小，靜態(tài)性能穩(wěn)定，動(dòng)態(tài)性能好。厚膜彈性體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于制備。它與擴(kuò)散硅壓力傳感器相比，不需半導(dǎo)體平面工藝來(lái)形成擴(kuò)散電阻彈性膜片，大幅度減小了生產(chǎn)線的前期投入和工藝加工成本。陶瓷厚膜結(jié)構(gòu)耐液體或氣體介質(zhì)的腐蝕，不需通過(guò)不銹鋼膜片和硅油的轉(zhuǎn)換與隔離，封裝結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化，進(jìn)一步降低成本。工作量程寬。量程決定于膜片的有效半徑與厚度之比，只要微壓力不小于1KPA，原則上較高的量程也易于實(shí)現(xiàn)。工作溫度范圍寬，可達(dá)－40℃～120℃。

陶瓷厚膜力數(shù)字壓力傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。陶瓷厚膜力數(shù)字壓力傳感器主要由瓷環(huán)、陶瓷膜片和陶瓷蓋板三部分組成。陶瓷膜片作為感力彈性體，采用95％的AL2O3瓷精加工而成，要求平整、均勻、質(zhì)密，其厚度與有效半徑視設(shè)計(jì)量程而定。瓷環(huán)采用熱壓鑄工藝高溫?zé)瞥尚汀Ｌ沾赡てc瓷環(huán)之間采用高溫玻璃漿料，通過(guò)厚膜印刷、熱燒成技術(shù)燒制在一起，形成周邊固支的感力杯狀彈性體，即在陶瓷的周邊固支部分應(yīng)形成無(wú)蠕變的剛性結(jié)構(gòu)。在陶瓷膜片上表面，即瓷杯底部，用厚膜工藝技術(shù)做成傳感器的電路。陶瓷蓋板下部的圓形凹槽使蓋板與膜片之間形成一定間隙，通過(guò)限位可防止膜片過(guò)載時(shí)因過(guò)度彎曲而破裂，形成對(duì)傳感器的抗過(guò)載保護(hù)。