基于MEMS技術(shù)的微型氣相色譜柱的研究(

由表1可知，苯的保留時(shí)間是1.961 min，甲苯的保留時(shí)間是3.076 min。半峰寬W1/2表示峰高在一半處的色譜峰的高度，單位可用時(shí)間或距離來表示，這里的單位是min，它是色譜流出曲線中很重要的參數(shù)，它的大小反映了色譜柱或色譜條件的好壞，一般來說越小越好。從圖中可以看出，苯和甲苯的峰型較好，半峰寬較小。

理論塔板數(shù)反映了柱效率，一般來說理論塔板數(shù)越大，色譜的分離能力越強(qiáng)。計(jì)算公式為

式中：tR是保留時(shí)間;ω1/2是半峰寬。從圖中可以計(jì)算得出苯的理論塔板數(shù)2218，甲苯的理論塔板數(shù)4846。

分離度是表示色譜柱在一定色譜條件下對(duì)混合物綜合分離能力的指標(biāo)，其定義為2倍的峰頂距離除以兩峰寬之和，即

當(dāng)R=1時(shí)，兩峰的峰面積有5%的重疊，即兩峰分開的程度為95%;當(dāng)R=1.5時(shí)，分離程度可達(dá)到99.7%，可視為完全分離。苯和甲苯的分離度達(dá)到了6.325，可見兩峰完全分離，分離效果較好。

5 結(jié) 論

本文介紹了一種基于硅片的采用MEMS技術(shù)加工的微型氣相色譜柱。描述了一種采用MEMS技術(shù)加工的微型氣相色譜柱, 這種色譜柱采用深刻蝕技術(shù)加工出色譜通道,再與Pyrex7740玻璃進(jìn)行鍵合密 。色譜柱全長(zhǎng)6m,色譜通道截面為矩形(寬100μm,深 100μm),針對(duì)苯和甲苯的混合氣進(jìn)行了分離試驗(yàn),理論塔板數(shù)達(dá)到了4800,分離時(shí)間為185s。

該色譜柱全長(zhǎng)6 m，內(nèi)壁涂有一層固定相用于對(duì)混合氣體進(jìn)行分離，載氣采用空氣，理論塔板數(shù)約為4800。在以往的文獻(xiàn)中并沒有提到這種截面為矩形、形狀為連續(xù)S型的色譜柱的理論模型，因此暫時(shí)難以估計(jì)這種色譜柱的理論最高分離能力，然而，理論塔板數(shù)仍有提高的可能。色譜柱拐彎處為半圓形，因此氣體流過時(shí)的流線并非標(biāo)準(zhǔn)的層流，會(huì)發(fā)生一定的變形，影響分離效果。固定相的均勻性也有待進(jìn)一步的改進(jìn)。