基于集成壓力傳感器的無源胎壓監(jiān)控系統(tǒng)研究

　　該系統(tǒng)的基本工作原理如下，把輪胎模塊裝置在輪胎內(nèi)，壓力和溫度傳感器檢測輪胎內(nèi)部當(dāng)前的應(yīng)力和溫度信息，獲得的模擬信號經(jīng)過A／D變換器轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號，然后通過射頻發(fā)射器發(fā)送出去。車載接收模塊裝置在駕駛室內(nèi)，射頻接收器接收來自輪胎模塊的應(yīng)力和溫度信息，當(dāng)輪胎壓力過高或者過低時，通過顯示和報警裝置發(fā)出報警信息。

　　在輪胎模塊，設(shè)計了一種新型的壓力溫度集成傳感器作為輪胎壓力監(jiān)控傳感器。該傳感器集成了壓力和溫度兩種傳感器，具有體積小、成本低、測量精度高等特點(diǎn)。采用低噪聲四通道放大器，可以方便實(shí)現(xiàn)對壓力和溫度兩種信號的放大?？刂破鞑捎媚ν辛_拉的MC6S08QG8芯片，該單片機(jī)的工作電壓為3 V，與傳感器的工作電壓一致。射頻發(fā)射芯片采用摩托羅拉的MC33493芯片，該芯片具有3 V供電以及功耗低等特點(diǎn)。

　　在車載接收模塊，射頻接收解碼芯片采用摩托羅拉的MC33594芯片，該芯片是和射頻發(fā)射芯片MC33493芯片配套的射頻接收芯片，其工作電壓是5 V?？刂破鞑捎媚ν辛_拉的MC9S08AW16單片機(jī)，該芯片的內(nèi)核為S08，可以與輪胎模塊的單片機(jī)MC6S08QG8采用同樣的開發(fā)環(huán)境，另外該芯片為5 V供電，與射頻接收芯片以及LCD顯示芯片電平兼容。

5 新型的胎壓監(jiān)控傳感器分析

　　壓力傳感器和溫度傳感器是輪胎壓力監(jiān)控系統(tǒng)的關(guān)鍵部件，設(shè)計并制作了一種新型傳感器，它包含壓阻式壓力傳感器和溫度傳感器兩部分。

　　其中，壓阻式壓力傳感器主要是利用半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng)，把一個惠斯通電橋做在一個硅杯上，如圖4所示。當(dāng)硅杯受到壓力后發(fā)生形變，惠斯通電橋的四個橋臂電阻就會發(fā)生變化，打破了電橋的電平衡，從而會有一個電信號的輸出。

　　溫度傳感器采用單電阻結(jié)構(gòu)，在n型硅襯底上制作一個p型電阻。囚為p型注入電阻有一個正的溫度系數(shù)，當(dāng)溫度發(fā)生變化時，電阻的阻值就會發(fā)生相應(yīng)的變化。通過給電阻以電流源供電，就可以通過測量電阻上的電壓來檢測溫度的變化。

　　圖5是本文制作的傳感器芯片的電鏡照片。圖5(a)為器件正面全貌；圖5(b)為薄膜正面；圖5(c)為薄膜背面。其中壓敏元件采用比常規(guī)更厚的50μm 硅杯薄膜(500 μm×500μm)，增大了體硅上高應(yīng)力區(qū)的面積，在降低工藝要求的同時提高了線性測量范圍和過載壓力。壓敏電阻設(shè)計為折線結(jié)構(gòu)，采用優(yōu)化的幾何尺寸，并將其部分制作在高應(yīng)力體硅上以獲得更高靈敏度。體硅上的溫敏電阻隨壓敏電阻利用同步注入工藝制作，減小了工藝復(fù)雜度。該器件工藝簡單，成品率高，與標(biāo)準(zhǔn) IC工藝兼容。

　　初步的測試結(jié)果表明集成傳感器具有良好的性能。壓力傳感器的滿量程輸出為150 mV，壓力測量范圍為0～500 kPa，靈敏度為0.3 mV／kPa。溫度傳感器的靈敏度為1.24 mV／℃，非線性為1.6％。壓力溫度集成傳感器完全適用于胎壓監(jiān)控系統(tǒng)的要求。

6 結(jié) 論

　　在分析了輪胎壓力監(jiān)摔系統(tǒng)的原 理及各種不同解決方案的基礎(chǔ)上，設(shè)計了一種新型的輪胎壓力監(jiān)控系統(tǒng)解決方案。根據(jù)TPMS的要求，設(shè)計制作了一種壓力溫度集成傳感器，該器件工藝簡單，成品率高，與標(biāo)準(zhǔn)IC工藝兼容。