納米技術在微電子連接中的應用

本文示舉兩例，介紹納米技術在微電子連接方面的應用。納米技術(nanotechnology)是一門在0.1～100nm空間尺度內操縱原子和分子，對材料進行加工，制造具有特定功能的產(chǎn)品，或對某物質進行研究，掌握其原子和分子的運動規(guī)律和特性的嶄新高技術。

納米印刷技術

在半導體產(chǎn)業(yè)中，微細加工技術是實現(xiàn)器件的集成化和高性能化不可欠缺的技術。但是，在進行微米尺度以下的加工時，必須在清洗環(huán)境下排除振動，保持一定的加工環(huán)境溫度，抑制由熱膨脹引發(fā)的尺寸變化，因而會增加相當大的成本。

近年來，以美國為主，不少國家開始使用微米連接印刷、毛細管微型模板、浸筆印板術等可以簡單地形成納米結構的新型制造技術，這種新的加工技術被稱為柔性印板術。其與微細加工技術的開發(fā)點不同，其最大特征是簡便且低成本。柔性印板術中的納米印刷技術，其原理簡單，而且已有成型設備在市場上銷售。

1 納米印刷技術

納米印刷技術的基本原理如圖1所示，就是把有納米級凹凸圖形的模板擠壓在涂覆了樹脂薄膜的基板上，再在樹脂薄膜的表面復制凹凸圖形。在普通的納米印刷技術中，能等倍復制模板，而在高寬比納米印刷技術中，則能形成高出納米模板凹部的結構體。

圖1 納米印刷原理

在納米印刷工程中，首先用旋轉法等把樹脂薄膜涂覆在玻璃和硅制的基板上，再將樹脂薄膜加熱，使其復合在基板上。然后，在變軟的樹脂上擠壓納米模板，最后再把納米模板從樹脂薄膜上脫離開去。通過以上過程，納米模板表面的圖形就被復制在樹脂薄膜的表面。

2 高寬比微細結構的形成

在納米印刷技術中，將金屬凸模擠壓樹脂薄膜上，便會形成凹部。但要形成平面比較大的細長結構，必須有深度雕刻的納米模板，因為模板從樹脂薄膜脫離時，必然會拉伸樹脂，所以能形成高出納米模板凹部的柱狀結構體，這種方法就稱為高寬比納米印刷技術。

在高寬比納米印刷技術中，可以簡單地形成直徑為25nm、高3μm(平面比為12)的納米級柱狀結構集合體(見圖2)。該結構在以往的精密塑料成型中是很難形成的，但使用了高寬比納米印刷技術，用一次壓延就能成型。

圖2 用納米印刷技術形成的納米柱結構

3 前景

納米印刷技術被認為是最接近實用化的制造技術，日本已有納米印刷裝置在市場上出售。但為了形成良好的結構體，必須要發(fā)展以納米模板和樹脂材料為先導的相關技術。目前，這一研究正在全世界范圍內展開。這一技術的應用重點將是電子領域，但也開始涉及邊緣能源等領域。

納米連接技術

納米粒子所具有的基本特性(如耐久性強、熔點和燒結溫度低)是眾所周知的，但其很多應用都沒有得到拓展。國外有人提出了利用納米粒子的表面能量與低溫燒結功能，把它作為連接材料的新型方案。用該連接法進行低溫連接后，經(jīng)燒結后的納米粒子會使連接處具有高熔點，這一優(yōu)點非常適合高溫連接較困難的無鉛焊接。這里主要介紹應用有機物—銀復合納米粒子的連接工藝特點及其在電子焊接上的適用性。

1 有機物—銀復合納米粒子的特性

由于納米粒子表面呈活性，為防止其自身凝聚必須要做表面控制。我們所用的納米粒子是平均直徑為10nm左右的銀納米粒子，其表面用有機物保護層進行了涂覆。圖3為有機物—銀復合納米粒子的掃描電鏡圖像，圖4為其結構模式圖。

圖3 銀納米粒子TEM圖像

圖4 銀納米粉粒子模式圖