國產(chǎn)100納米制造裝備初步實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化

     北京地區(qū)正在成為我國集成電路裝備制造業(yè)的龍頭。9月28日，芯片制造六大裝備中的兩種——刻蝕機和離子注入機的采購合同在北京簽訂，標(biāo)志著國產(chǎn)100納米制造裝備初步實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化，中國集成電路制造核心裝備由此取得歷史性突破。這一突破能使芯片成本降低，令百姓直接受惠。 
　　一個家庭有100顆芯片 

　　“一個城市的普通家庭有約100顆芯片?！笔泄I(yè)促進局電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展處處長梁勝告訴記者。沒有芯片，我們看不了電視，用不了手機，聽不了MP3。沒有了小小的芯片，我們的生活將會完全變樣。 

　　梁勝介紹說，芯片制造是一個復(fù)雜的過程，“生產(chǎn)一顆小芯片共有400多道工序，對精度要求極高，比如刻在芯片上的小槽，只有頭發(fā)絲的1/1000那么細(xì)?！?nbsp;

　　各環(huán)節(jié)中，門檻最高和影響成本最多的就是芯片的制造裝備。其中，刻蝕機和離子注入機兩種裝備則是生產(chǎn)線上的關(guān)鍵。 

　　“以前，我國所有8英寸及以上水平的生產(chǎn)線上，沒有一臺國產(chǎn)設(shè)備(8英寸指硅片的大小，硅片越大，效率越高，但對技術(shù)要求也越高)?！绷簞俳榻B說。此前的芯片制造裝備必須依靠國外，建一條芯片生產(chǎn)線，幾乎80%的投資是用于購買裝備。但國際上對出口中國的這類設(shè)備一直是嚴(yán)格控制的，而且即使賣給我國，也將昂貴的制造成本一并轉(zhuǎn)移過來?！叭绻辛俗约荷a(chǎn)的裝備，我們的成本要便宜三分之一。” 

　　縮短與國際先進水平距離 

　　2002年11月，科技部同意北京市政府啟動“100nm高密度等離子刻蝕機與大角度離子注入機”項目。北京電子控股公司聯(lián)合清華大學(xué)、北京大學(xué)、中科院、七星集團等股東組建北方微電子公司，承擔(dān)等離子刻蝕機的研發(fā)任務(wù)。中國電子科技集團聯(lián)合48所、45所組建北京中科信電子裝備公司，承擔(dān)離子注入機的研發(fā)任務(wù)。 

　　9月28日，全球知名的芯片代工廠中芯國際公司與北方微電子公司、中科信公司分別簽訂了刻蝕機和離子注入機的采購合同，合同總價值超過1億元人民幣。這標(biāo)志著北京市承擔(dān)的國家“十五”863計劃集成電路制造裝備重大專項——100納米高密度等離子刻蝕機與大角度離子注入機初步實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化，在芯片制造核心裝備研發(fā)方面的技術(shù)創(chuàng)新、自主創(chuàng)新取得了重大突破。 

　　所謂100納米，指的是硅材上刻的小槽寬度，從以前的0.25微米、0.18微米一直到0.13微米，直到現(xiàn)在進入納米。這個數(shù)值越小，意味著芯片的精確度和集成度越高。 

　　“這個重大的創(chuàng)新打破了國際壟斷，降低了芯片成本，能直接令老百姓受惠，在市場上買到更便宜的電視機、手機、電腦等等。”梁勝說。 

　　據(jù)介紹，北京市于2002年啟動了100納米高密度等離子刻蝕機與大角度離子注入機項目。我國的芯片制造裝備技術(shù)本來與國際先進水平起碼差15至20年，這兩種設(shè)備研制成功后，現(xiàn)在只差5年的距離了。 

　　目前，8英寸產(chǎn)品已經(jīng)產(chǎn)業(yè)化，12英寸的刻蝕機和離子注入機已基本具備了上線測試的條件，預(yù)計年底就可以進入生產(chǎn)線進行在線測試。