國(guó)產(chǎn)100納米制造裝備初步實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化

     北京地區(qū)正在成為我國(guó)集成電路裝備制造業(yè)的龍頭。9月28日，芯片制造六大裝備中的兩種——刻蝕機(jī)和離子注入機(jī)的采購(gòu)合同在北京簽訂，標(biāo)志著國(guó)產(chǎn)100納米制造裝備初步實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化，中國(guó)集成電路制造核心裝備由此取得歷史性突破。這一突破能使芯片成本降低，令百姓直接受惠。 
　　一個(gè)家庭有100顆芯片 

　　“一個(gè)城市的普通家庭有約100顆芯片。”市工業(yè)促進(jìn)局電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展處處長(zhǎng)梁勝告訴記者。沒(méi)有芯片，我們看不了電視，用不了手機(jī)，聽(tīng)不了MP3。沒(méi)有了小小的芯片，我們的生活將會(huì)完全變樣。 

　　梁勝介紹說(shuō)，芯片制造是一個(gè)復(fù)雜的過(guò)程，“生產(chǎn)一顆小芯片共有400多道工序，對(duì)精度要求極高，比如刻在芯片上的小槽，只有頭發(fā)絲的1/1000那么細(xì)。” 

　　各環(huán)節(jié)中，門(mén)檻最高和影響成本最多的就是芯片的制造裝備。其中，刻蝕機(jī)和離子注入機(jī)兩種裝備則是生產(chǎn)線上的關(guān)鍵。 

　　“以前，我國(guó)所有8英寸及以上水平的生產(chǎn)線上，沒(méi)有一臺(tái)國(guó)產(chǎn)設(shè)備(8英寸指硅片的大小，硅片越大，效率越高，但對(duì)技術(shù)要求也越高)。”梁勝介紹說(shuō)。此前的芯片制造裝備必須依靠國(guó)外，建一條芯片生產(chǎn)線，幾乎80%的投資是用于購(gòu)買(mǎi)裝備。但國(guó)際上對(duì)出口中國(guó)的這類(lèi)設(shè)備一直是嚴(yán)格控制的，而且即使賣(mài)給我國(guó)，也將昂貴的制造成本一并轉(zhuǎn)移過(guò)來(lái)?！叭绻辛俗约荷a(chǎn)的裝備，我們的成本要便宜三分之一。” 

　　縮短與國(guó)際先進(jìn)水平距離 

　　2002年11月，科技部同意北京市政府啟動(dòng)“100nm高密度等離子刻蝕機(jī)與大角度離子注入機(jī)”項(xiàng)目。北京電子控股公司聯(lián)合清華大學(xué)、北京大學(xué)、中科院、七星集團(tuán)等股東組建北方微電子公司，承擔(dān)等離子刻蝕機(jī)的研發(fā)任務(wù)。中國(guó)電子科技集團(tuán)聯(lián)合48所、45所組建北京中科信電子裝備公司，承擔(dān)離子注入機(jī)的研發(fā)任務(wù)。 

　　9月28日，全球知名的芯片代工廠中芯國(guó)際公司與北方微電子公司、中科信公司分別簽訂了刻蝕機(jī)和離子注入機(jī)的采購(gòu)合同，合同總價(jià)值超過(guò)1億元人民幣。這標(biāo)志著北京市承擔(dān)的國(guó)家“十五”863計(jì)劃集成電路制造裝備重大專(zhuān)項(xiàng)——100納米高密度等離子刻蝕機(jī)與大角度離子注入機(jī)初步實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化，在芯片制造核心裝備研發(fā)方面的技術(shù)創(chuàng)新、自主創(chuàng)新取得了重大突破。 

　　所謂100納米，指的是硅材上刻的小槽寬度，從以前的0.25微米、0.18微米一直到0.13微米，直到現(xiàn)在進(jìn)入納米。這個(gè)數(shù)值越小，意味著芯片的精確度和集成度越高。 

　　“這個(gè)重大的創(chuàng)新打破了國(guó)際壟斷，降低了芯片成本，能直接令老百姓受惠，在市場(chǎng)上買(mǎi)到更便宜的電視機(jī)、手機(jī)、電腦等等?！绷簞僬f(shuō)。 

　　據(jù)介紹，北京市于2002年啟動(dòng)了100納米高密度等離子刻蝕機(jī)與大角度離子注入機(jī)項(xiàng)目。我國(guó)的芯片制造裝備技術(shù)本來(lái)與國(guó)際先進(jìn)水平起碼差15至20年，這兩種設(shè)備研制成功后，現(xiàn)在只差5年的距離了。 

　　目前，8英寸產(chǎn)品已經(jīng)產(chǎn)業(yè)化，12英寸的刻蝕機(jī)和離子注入機(jī)已基本具備了上線測(cè)試的條件，預(yù)計(jì)年底就可以進(jìn)入生產(chǎn)線進(jìn)行在線測(cè)試。