透射電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)與成像原理介紹
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圖2-3 照明系統(tǒng)光路圖
2.1.2 成像系統(tǒng)
由物鏡、物鏡光欄、選區(qū)光欄、中間鏡(1、2)和投影鏡組成.
1) 物鏡:強(qiáng)勵磁短焦透鏡(f=1-3mm),放大倍數(shù)100—300倍。
作用:形成第一幅放大像
2) 物鏡光欄:裝在物鏡背焦面,直徑20—120um,無磁金屬制成。
作用:a.提高像襯度,b.減小孔經(jīng)角,從而減小像差。C.進(jìn)行暗場成像
3) 選區(qū)光欄:裝在物鏡像平面上,直徑20-400um,
作用:對樣品進(jìn)行微區(qū)衍射分析。
4) 中間鏡:弱壓短透鏡,長焦,放大倍數(shù)可調(diào)節(jié)0—20倍
作用a.控制電鏡總放大倍數(shù)。B.成像/衍射模式選擇。
5) 投影鏡:短焦、強(qiáng)磁透鏡,進(jìn)一步放大中間鏡的像。投影鏡內(nèi)孔徑較小,使電子束進(jìn)入投影鏡孔徑角很小。
小孔徑角有兩個特點(diǎn):
a. 景深大,改變中間鏡放大倍數(shù),使總倍數(shù)變化大,也不影響圖象清晰度。
b. 焦深長,放寬對熒光屏和底片平面嚴(yán)格位置要求。
注意:有些電鏡還裝有附加投影鏡,用以自動校正磁轉(zhuǎn)角。
2.1.3 觀察記錄系統(tǒng)
觀察和記錄系統(tǒng)包括熒光屏和照相機(jī)構(gòu)。熒光屏涂有在暗室操作條件下,人眼較敏感、發(fā)綠光的熒光物質(zhì),有利于高放大倍數(shù)、低亮度圖像的聚集和觀察。 照相機(jī)構(gòu)是一個裝在熒光屏下面,可以自動換片的照相暗盒。膠片是一種對電子束曝光敏感、顆粒度很小的溴化物乳膠底片,為紅色盲片,曝光時間很短,一般只需幾秒鐘。新型電鏡均采用電磁快門,與熒光屏聯(lián)動。有的裝有自動曝光裝置?,F(xiàn)代電鏡已開始裝有電子數(shù)碼照相裝置,即CCD相機(jī)。
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