如何處理半導(dǎo)體(LED)廢水

1、國內(nèi)LED產(chǎn)業(yè)具有廣闊的發(fā)展前景，LED半導(dǎo)體照明應(yīng)用，廣泛地用于大屏幕顯示、交通信號燈、手機(jī)背光源等，并開始應(yīng)用于城市美化亮化、景觀燈、地?zé)?、手電筒、汽車用燈、指示牌等特殊照明領(lǐng)域。隨著單個LED光通亮和發(fā)光效率的提高，即將進(jìn)入普通室內(nèi)照明、臺燈、筆記本電腦背光源、大尺寸LED顯示器背光源等市場廣闊。

LED生產(chǎn)過程中絕大部分廢水產(chǎn)生在原材料和芯片制造過程中，分為拉晶、切磨拋和芯片制造，主要含一般酸堿廢水、含氟廢水、有機(jī)廢水、氨氮廢水等幾種水質(zhì)，在黃綠光晶片制造過程中還會有含砷廢水排出。

2、LED芯片加工廢水特點：主要污染物為LED芯片生產(chǎn)過程中排放的大量有機(jī)廢水和酸堿廢水，另有少量含氟廢水。有機(jī)廢水主要污染物為醇、乙醇、雙氧水;酸堿廢水中主要污染物為無機(jī)酸、堿等。

3、LED切磨拋廢水特點：主要污染物為大量清洗廢水，主要成分為硅膠、弱酸、硫酸、鹽酸、研磨砂等。

4、酸堿廢水排放：主要包括工藝酸堿廢水、廢氣洗滌塔廢水、純水站酸堿再生廢水，采用化學(xué)中和法處理。

含砷廢水：主要來自背面減薄及劃片/分割工序，采用化學(xué)沉淀法處理。

一般廢水：排放方式均為連續(xù)排放，主要指純水站RO濃縮廢水主要污染物為無機(jī)鹽類，采用生化法去除。

含氟廢水：主要清洗廢水中含有HF，使用混凝沉淀去除。

高氨氮廢水：使用折點加氯法，將廢水中的氨氮氧化成N2。投加過量氯或次氯酸鈉，使廢水中氨完全氧化為N2的方法，稱為折點氯化法，其反應(yīng)可表示為：

NH4+十1.5HOCl→0.5N2十1.5H2O十2.5H+十1.5Cl-

5、案例：

5.1、LED生產(chǎn)加工之藍(lán)寶石拉晶廢水

污水水質(zhì)、水量：

水量：480t/d;20t/h(24小時連續(xù))

廢水水質(zhì)：

PH值5.0-10.0無量綱

出水要求：

達(dá)到國家廢水二級排放標(biāo)準(zhǔn)(污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)>(GB8978-1996)表4標(biāo)準(zhǔn))的要求。具體指標(biāo)為：

處理工藝

酸堿廢水進(jìn)入酸堿廢水調(diào)節(jié)池后與投加的藥劑進(jìn)行中和反應(yīng)，達(dá)到工藝要求后進(jìn)入有機(jī)廢水調(diào)節(jié)池。人工收集到含氟廢水收集池，加藥劑進(jìn)行沉淀。上清液達(dá)標(biāo)排放，污泥排入污泥濃縮池處理。

利用有機(jī)廢水調(diào)節(jié)池的池容增加生化處理功能，向池內(nèi)投加厭氧性水解菌，池內(nèi)配置穿孔水力攪拌系統(tǒng)以加強(qiáng)傳質(zhì)，為后繼處理單元提供部分水解處理服務(wù)。

廢水經(jīng)過調(diào)節(jié)后經(jīng)泵提升進(jìn)入進(jìn)入?yún)捬跛獬亍?/p>

厭氧水解池采用上向流布水形式，利用循環(huán)管網(wǎng)系統(tǒng)加強(qiáng)池底部的混流強(qiáng)度，提高反應(yīng)器內(nèi)的傳質(zhì)效果。利用微生物的水解酸化作用將廢水中難降解的大分子有機(jī)物轉(zhuǎn)化為易降解的小分子有機(jī)物，將復(fù)雜的有機(jī)物轉(zhuǎn)變成簡單的有機(jī)物，提高廢水的可生化性，有利于后續(xù)的好氧生化處理。出水自流進(jìn)入接觸氧化池。接觸氧化池的混合液進(jìn)入二沉池進(jìn)行泥水沉淀分離。為保證COD排放達(dá)標(biāo)的處理要求，將二沉池出水導(dǎo)入BAF進(jìn)行處理。生物曝氣濾池的出水流入清水池，為生物曝氣濾池提供濾料的反沖洗水，其余的清水達(dá)標(biāo)排放。

5.2、LED生產(chǎn)加工之切磨拋廢水

污水水質(zhì)、水量：

水量：432t/d;18t/h(24小時連續(xù))

廢水水質(zhì)：

1PH值5.0-10.0無量綱

出水要求：

達(dá)到國家廢水二級排放標(biāo)準(zhǔn)(污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)>(GB8978-1996)表4標(biāo)準(zhǔn))的要求。具體指標(biāo)為：

處理工藝

根據(jù)業(yè)主廢水的水質(zhì)情況，在吸取以往同類廢水處理裝置設(shè)計的成功經(jīng)驗和一些同類廢水處理裝置的實際運行經(jīng)驗，設(shè)計污水處理主體工藝路線如下：

格柵池+清洗廢水調(diào)節(jié)池+反應(yīng)池+物化沉淀池—達(dá)標(biāo)排放

污泥處理主體工藝采用工藝路線為：

污泥濃縮+污泥調(diào)理+板框壓濾—泥餅外運

5.3、LED生產(chǎn)加工之芯片廢水

污水水質(zhì)、水量：

有機(jī)廢水水量：19.4t/h(24小時連續(xù))

水質(zhì)：

PH值6.0-8.0無量綱

酸堿廢水水量：70t/h(24小時連續(xù))

水質(zhì)：

PH值4.0-11.0無量綱

含氟廢水水量：4t/h(24小時連續(xù))

水質(zhì)：

PH值2.0-4.0無量綱

氟化物≤200mg/L

處理工藝

酸堿廢水進(jìn)入酸堿廢水調(diào)節(jié)池后與投加的藥劑進(jìn)行中和反應(yīng)，達(dá)到工藝要求后達(dá)標(biāo)排放。含氟廢水收集調(diào)節(jié)后與投加的藥劑反應(yīng)生成不溶性氟化物沉淀，上清液達(dá)標(biāo)排放。