用于多站點(diǎn)并行測(cè)試的 ACS集成測(cè)試系統(tǒng)（二）

系統(tǒng)架構(gòu)

最容易想到的多站點(diǎn)測(cè)試儀是迷你測(cè) 試儀系統(tǒng)。每臺(tái)迷你測(cè)試儀包含了在一個(gè)站點(diǎn)上運(yùn)行一系列測(cè)試所需的全部資源。 圖3示出了兩臺(tái)迷你測(cè)試儀組成的系統(tǒng)。每臺(tái)迷你測(cè)試儀含有幾個(gè)模擬源-測(cè)量單 元(SMU)、一個(gè)測(cè)試定序儀/控制器，和 一個(gè)開關(guān)矩陣選件。獨(dú)立控制器能讓每臺(tái) 迷你測(cè)試儀的操作獨(dú)立于其它迷你測(cè)試儀 和系統(tǒng)控制器。這樣，系統(tǒng)控制器不用選通測(cè)試的運(yùn)行，而是啟動(dòng)測(cè)試序列并整理 產(chǎn)生的測(cè)試數(shù)據(jù)。 吉時(shí)利的ACS集成測(cè)試系統(tǒng)通過吉時(shí) 利2600系列數(shù)字源表支持迷你測(cè)試儀架 構(gòu)。通過使用TSP-LinkTM 可擴(kuò)展虛擬背板專利技術(shù)和嵌入式腳本處理，可以將幾組 2600系列裝置組成迷你測(cè)試儀。 迷你測(cè)試儀的分布式本質(zhì)能極大提高 吞吐量。使用真正的并行測(cè)試，完全測(cè)試 圖2中的4個(gè)FET測(cè)試站的耗時(shí)比順序測(cè)試儀完成4個(gè)FET第一項(xiàng)測(cè)試的用時(shí)短(如圖 4所示)。

圖3. 并行測(cè)試系統(tǒng)架構(gòu)

圖4. 順序測(cè)試和并行測(cè)試的比較

易于使用

在執(zhí)行并行測(cè)試工程時(shí)，測(cè)試工程師要面臨幾項(xiàng)潛在挑戰(zhàn)。 其中包括在全自動(dòng)探測(cè)器環(huán)境中建立測(cè)試序列并執(zhí)行測(cè)試。吉時(shí)利的自動(dòng)特性分析套件(ACS)軟件(圖5)通過提供以下內(nèi) 容的直觀用戶界面應(yīng)對(duì)這些挑戰(zhàn)： • 晶圓說明 • 測(cè)試設(shè)置 • 探測(cè)器控制 • 自動(dòng)化 • 匯總報(bào)告 ACS實(shí)現(xiàn)了晶匣級(jí)和晶圓級(jí)自動(dòng)化，所以能對(duì)全部晶匣的晶 圓進(jìn)行高吞吐量并行測(cè)試。ACS還包括實(shí)時(shí)分級(jí)裝倉(cāng)圖和繪制功能(圖6)。

圖5. ACS測(cè)試設(shè)置用戶界面的并行測(cè)試特性使2600系列的編程就像點(diǎn)、 擊和輸入測(cè)試參數(shù)那樣簡(jiǎn)單。

圖6. ACS自動(dòng)監(jiān)控屏實(shí)時(shí)顯示用色碼表示的分級(jí)結(jié)果。

結(jié)論

面市時(shí)間延長(zhǎng)和測(cè)試成本壓力增大意味著測(cè)試工程師必須用 更少的投入做更多的事。憑借吉時(shí)利久經(jīng)驗(yàn)證的儀器和測(cè)量，ACS 集成測(cè)試系統(tǒng)填補(bǔ)了基于交互式實(shí)驗(yàn)室工具與高吞吐量生產(chǎn)測(cè)試 工具之間的空白。 圖1所示的ACS集成測(cè)試系統(tǒng)特別適于管芯分選的多站點(diǎn)并行測(cè)試、高級(jí)可靠性和其它高吞吐量應(yīng)用。2600系列儀器利用 嵌入式測(cè)試腳本處理實(shí)現(xiàn)的分布式測(cè)試排序性能具有高速并行測(cè)試能力。