北京亦莊：集成電路國產(chǎn)設(shè)備走向“前臺”

　　截至今年11月，中芯國際北京廠使用國產(chǎn)設(shè)備加工的12英寸正式產(chǎn)品晶圓加工突破1000萬片次。這標(biāo)志著國產(chǎn)設(shè)備技術(shù)和市場競爭力邁上了一個新臺階，也意味著在以精密、嚴(yán)苛著稱的集成電路生產(chǎn)領(lǐng)域，國產(chǎn)設(shè)備正通過進(jìn)口替代，穩(wěn)步走向“前臺”。

　　12英寸集成電路國產(chǎn)設(shè)備是實(shí)現(xiàn)我國集成電路芯片自主制造的基礎(chǔ)，設(shè)備要求高，系統(tǒng)復(fù)雜，相當(dāng)長時間內(nèi)，主要由美日德等設(shè)備供應(yīng)商供應(yīng)。2008年，國家科技重大專項(xiàng)02專項(xiàng)組織“產(chǎn)學(xué)研”聯(lián)合開發(fā)，把目標(biāo)直接定在世界上最先進(jìn)的40納米和28納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)，并由行業(yè)的龍頭企業(yè)牽頭。

　　2015年，中芯國際北京廠新增包括干法刻蝕機(jī)、物理氣相沉積設(shè)備、單片退火爐設(shè)備等在內(nèi)的國產(chǎn)設(shè)備主機(jī)臺及附屬機(jī)臺數(shù)百臺。這些國產(chǎn)設(shè)備出色地通過了28納米至90納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)的大生產(chǎn)線驗(yàn)證，與進(jìn)口設(shè)備同臺競技。

　　國產(chǎn)設(shè)備進(jìn)入集成電路生產(chǎn)線難在哪?“以往的探索式研究只需要單點(diǎn)突破，100次嘗試有一次成功就可以宣告成功了?，F(xiàn)在要提供大生產(chǎn)技術(shù)，必須100次都成功，而且成功的結(jié)果還必須完全一樣，發(fā)散一點(diǎn)兒都不行?！敝行颈狈礁笨偨?jīng)理張昕告訴記者，在高風(fēng)險、高投入的集成電路產(chǎn)業(yè)，裝備的設(shè)計也要改變在實(shí)驗(yàn)室里閉門造車的習(xí)慣，要預(yù)先知道生產(chǎn)的具體要求，隨時改進(jìn)，共同開發(fā)。

　　值得注意的是，目前中芯國際北京廠使用的國產(chǎn)設(shè)備中，有相當(dāng)一部分產(chǎn)自其所在的北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)。與中芯國際北京廠“比鄰”的北方華創(chuàng)，已成功開發(fā)了以刻蝕設(shè)備、化學(xué)氣相沉積設(shè)備、物理氣相沉積設(shè)備三大類半導(dǎo)體裝備產(chǎn)品為基礎(chǔ)的20余類產(chǎn)品，成功替代國外廠商同類產(chǎn)品。

　　“區(qū)域的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈布局為實(shí)現(xiàn)芯片制造設(shè)備國產(chǎn)化奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)，開發(fā)區(qū)已形成集制造、封測、裝備、零部件及材料、設(shè)計企業(yè)在內(nèi)的完備產(chǎn)業(yè)鏈?！北本┙?jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)投資促進(jìn)局局長王延衛(wèi)告訴記者，目前亦莊集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模占北京市的二分之一。

　　一批代表企業(yè)及研究機(jī)構(gòu)關(guān)鍵裝備及材料、先進(jìn)工藝的開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化等方面取得一批代表國家最高水平的成果，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)自主發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)，也確立了北京在全國集成電路產(chǎn)業(yè)布局中的領(lǐng)先地位。

　　未來，亦莊開發(fā)區(qū)將致力于成為全球領(lǐng)先的，先進(jìn)新型存儲器、基帶芯片和射頻電路、電力電子及功率器件、集成電路代工及裝備四大高精尖領(lǐng)域的研發(fā)制造中心。同時，以建立上下游價值鏈、整合產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈、打造具有國際競爭力的大企業(yè)為依托，積極推進(jìn)中國集成電路產(chǎn)業(yè)的技術(shù)創(chuàng)新、模式創(chuàng)新、制度創(chuàng)新，實(shí)現(xiàn)全產(chǎn)業(yè)鏈在京津冀地區(qū)布局集群發(fā)展，成為中國集成電路產(chǎn)業(yè)的核心區(qū)與承載地。