SK集團(tuán)加速半導(dǎo)體垂直整合 SK Innovation開(kāi)發(fā)半導(dǎo)體材料
SK集團(tuán)(SKGroup)在接連購(gòu)并OCIMaterials與樂(lè)金Siltron(LGSiltron)之后,子公司SKInnovation也將發(fā)展半導(dǎo)體材料事業(yè),加速以SK海力士(SKHynix)為主軸的材料、零組件事業(yè)垂直整合。
本文引用地址:http://butianyuan.cn/article/201706/361033.htm據(jù)韓媒ETNews報(bào)導(dǎo),業(yè)界消息表示,SKInnovation以對(duì)SK海力士供應(yīng)產(chǎn)品為目的,正從事光阻劑(Photoresist)研發(fā)。近期SKInnovation已將少量光阻劑樣品交給SK海力士進(jìn)行測(cè)試,后續(xù)經(jīng)由意見(jiàn)回饋改善品質(zhì)后,朝向量產(chǎn)目標(biāo)邁進(jìn)。
光阻劑用在硅晶圓的曝光制程,與通過(guò)光罩的光作用形成電路圖形。曝光設(shè)備與材料依照曝光波長(zhǎng)分為G-line、I-line、KrF、ArF與極紫外光(EUV)等多種方式,其中以極紫外光最為先進(jìn)。
SKInnovation開(kāi)發(fā)的是用在生產(chǎn)3DNANDFlash的KrF光阻劑,涂布在晶圓上時(shí)必須形成10?以上的厚膜,之后才能順利將存儲(chǔ)器單元(Cell)堆疊成垂直構(gòu)造。
ArF與極紫外光的光阻劑材料市場(chǎng)主要由信越化學(xué)(Shin-EtsuChemical)、住友化學(xué)(SumitomoChemical)、東京應(yīng)化工業(yè)(TOK)、JSR等日本業(yè)者掌握;南韓東進(jìn)世美肯(DongjinSemichem)與德國(guó)默克(Merck)供應(yīng)技術(shù)難易度相對(duì)較低的3DNANDFlashKrF光阻劑。
SKInnovation表示,公司從2年前開(kāi)始著手研發(fā)光阻劑等電子材料,希望能以石油、潤(rùn)滑油領(lǐng)域累積的技術(shù)能量,也在特殊化學(xué)材料市場(chǎng)取得斬獲。
SK集團(tuán)在將海力士納入旗下后,開(kāi)始以購(gòu)并策略強(qiáng)化半導(dǎo)體材料、零組件事業(yè)能量。2016年1月買(mǎi)下半導(dǎo)體特殊氣體業(yè)者OCIMaterials并更名為SKMaterials。
SKMaterials生產(chǎn)三氟化氮(NF3),用來(lái)清除半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)腔體內(nèi)的殘留物質(zhì),全球市占率第一。2016年SKMaterials先后與日本TriChemicalLaboratories及昭和電工(ShowaDenko)合資成立子公司SKTriChem、SKShowaDenko。
SKTriChem生產(chǎn)鋯(Zr)系前驅(qū)體(Precursor)高介電(High-K)蒸鍍材料;SKShowaDenko生產(chǎn)蝕刻氣體三氟甲烷(CH3F)。這兩項(xiàng)材料都將對(duì)SK海力士供應(yīng)。
2017年初SK集團(tuán)再度向樂(lè)金集團(tuán)(LGGroup)購(gòu)買(mǎi)硅晶圓公司樂(lè)金Siltron過(guò)半數(shù)股權(quán)。先前SK海力士分別向信越化學(xué)、Sumco、SunEdisonSemiconductor、Siltronic及樂(lè)金Siltron等5家供應(yīng)商采購(gòu)硅晶圓,未來(lái)應(yīng)會(huì)增加對(duì)樂(lè)金Siltron的采購(gòu)量。
業(yè)界表示,2015年SK集團(tuán)會(huì)長(zhǎng)崔泰源訂定2020年集團(tuán)營(yíng)收目標(biāo)200兆韓元(約1,779億美元),并選定多項(xiàng)領(lǐng)域作為新樹(shù)種事業(yè)培育,其中規(guī)模最大的就是半導(dǎo)體及相關(guān)材料與零組件事業(yè)。之后SK集團(tuán)主要子公司紛紛投入相關(guān)研發(fā),如SKC的子公司SKCSolmics正在開(kāi)發(fā)光罩基底(MaskBlank)。
日本Hoya、成膜光電(Ulcoat)是光罩基底市場(chǎng)主要供應(yīng)商,南韓業(yè)者S&STech也自主研發(fā),將產(chǎn)品往海外市場(chǎng)銷(xiāo)售。SKCSolmics若能成功將光罩基底帶入商用化,未來(lái)可望大幅提高營(yíng)收。
SKInnovation對(duì)開(kāi)發(fā)3DNANDFlash的KrF光阻劑傳聞表示,光阻劑等各種電子材料化學(xué)產(chǎn)品都還在開(kāi)發(fā)階段,是否進(jìn)行量產(chǎn)還需經(jīng)過(guò)審慎評(píng)估才能確定。
評(píng)論