MEMS傳感器百花齊放，哪些是未來(lái)的主流？

　　“各類傳感器的需求持續(xù)增長(zhǎng)，至2020年，MEMS傳感的市值將會(huì)達(dá)到25億美元，是2000年的5倍。”MIG（MEMS工業(yè)集團(tuán)）執(zhí)行總監(jiān)Karen Lightman在日前的亞洲傳感器大會(huì)上表示，“而這些傳感器驅(qū)動(dòng)的設(shè)備市場(chǎng)則更是巨大。”她說(shuō)道。

　　從汽車到智能手機(jī)，再到智能穿戴、IOT等，各種MEMS傳感應(yīng)用而生，百花齊放，讓我們先來(lái)看看目前都有哪些種類的MEMS傳感器，他們的需求排名如何。

　　MEMS傳感器種類及市場(chǎng)大小排名

　　MIG執(zhí)行總監(jiān)Karen Lightman在會(huì)上與大家分享了目前MEMS傳感器主要的應(yīng)用領(lǐng)域，并按目前的市場(chǎng)大小，進(jìn)行了分類排序，它們包括：壓力傳感器、加速度傳感器、麥克風(fēng)傳感器、陀螺儀傳感器、噴墨打印機(jī)頭傳感器、BAW過(guò)濾器、DLP傳感器、微型熱幅射測(cè)量計(jì)、時(shí)鐘傳感器、水探測(cè)傳感器、氣化學(xué)傳感器、光MEMS（通信）傳感器、開(kāi)關(guān)電容傳感器、片上顏色傳感器、熱傳感器、MEMS flat顯示傳感器、微燃料電池傳感器、流體傳感器、joystick傳感器、藥因子傳感器、相機(jī)變焦傳感器、可變型微鏡傳感器、能量采集傳感器、掃描微鏡傳感器、安全氣囊傳感器、MEMS楊聲器傳感器、以及閥門傳感器等等。

　　圖：Karen指出，目前消費(fèi)類MEMS傳感器面臨著四個(gè)挑戰(zhàn)：尺寸、智能、應(yīng)用和價(jià)格，業(yè)界將圍繞著這四個(gè)挑戰(zhàn)來(lái)努力。

　　中國(guó)傳感器廠商上規(guī)模的已過(guò)50家

　　而上海微技術(shù)工業(yè)研究院（SITRI）總裁楊瀟則在會(huì)上分析道，MEMS傳感器經(jīng)歷了從汽車延伸到手機(jī)的快速成長(zhǎng)，現(xiàn)在正在拓展到智能穿戴、再到 IOT和工業(yè)4.0，成長(zhǎng)空間巨大。他分析道，智能手機(jī)中目前采用MEMS和傳感器最多的是三星的Galaxy s5，共采用了包括加速計(jì)、電子羅盤儀、硅麥、接近傳感器、陀螺儀、環(huán)境燈、氣壓計(jì)、溫度計(jì)、霍爾傳感器、RGB傳感器、手勢(shì)傳感器、指紋傳感器以及心率傳感器等十幾個(gè)傳感器。蘋果的iphone6也采用了很多傳感器。“他們的特點(diǎn)是，每一代都會(huì)比前一代采用更多的傳感器。”楊瀟說(shuō)道，“而中國(guó)手機(jī)廠商同，比如華為、小米、OPPO、聯(lián)想、中心、vivo、魅族、金立等手機(jī)，也都采用了很多傳感器。”他補(bǔ)充。

　　至于目前正在迅速成長(zhǎng)的智能穿戴產(chǎn)品，楊瀟表示，它們采用了更多的傳感器，包括各種運(yùn)動(dòng)傳感器（加速度、陀螺儀、電子磁盤儀、CMOS sensor、電容和接近光傳感器）、觸控傳感器、智能反饋傳感器（haptics）、聲學(xué)傳感器（麥克風(fēng)、揚(yáng)聲器以及心率監(jiān)控ECG傳感器）、生物傳感器（各種DNA傳感器、液體細(xì)包傳感器）、濕度/溫度傳感器、壓力傳感器、以及光傳感器等等。據(jù)他們統(tǒng)計(jì)的數(shù)據(jù)顯示，2015年二季度，全球出貨量最大的智能穿戴產(chǎn)品是Fitbit，第二名是蘋果手表，第三名則是中國(guó)的小米手環(huán)。“小米手環(huán)雖然只采用了三軸傳感器，但是它的出貨量非常大，二季度出貨300 萬(wàn)個(gè)，預(yù)計(jì)2015全年出貨達(dá)1000萬(wàn)個(gè)。”他分析道。這里，蘋果手表apple watch采用的傳感器最多，包括6軸加速度與陀螺儀、環(huán)境光傳感器、硅麥克風(fēng)、壓力觸控傳感器、以及光心率傳感器。

　　圖：全球智能穿戴產(chǎn)品出貨量排名。

　　中國(guó)手機(jī)與智能穿戴等消費(fèi)電子廠商采用的MEMS傳感器越來(lái)越多，楊瀟表示，他們所占全球MEMS的市場(chǎng)份額，已從2011年的9%，提升到2015 年的30%，后面還會(huì)持續(xù)增長(zhǎng)。另一方面，中國(guó)本土的傳感器廠商也在迅速增長(zhǎng)，我們看到如下圖，2015年，中國(guó)的有一定規(guī)模的傳感器廠商已增至超過(guò)50 家。

　　圖：中國(guó)的有一定規(guī)模的MEMS傳感器廠商數(shù)量已超過(guò)50家。

　　從MEMS供應(yīng)鏈上來(lái)看，楊瀟表示SITRI可以提供從設(shè)計(jì)到制造到生態(tài)鏈的幾乎全產(chǎn)業(yè)鏈支援。而基它的重要供應(yīng)鏈廠商還包括華虹宏力、華天科技、長(zhǎng)電科技、SMIC、南通富士通、上海先進(jìn)半導(dǎo)體等等。“我們會(huì)360度全方位地支持M2M與IOT的創(chuàng)新。”他說(shuō)道。

　　MEMS與CMOS集成的工藝演進(jìn)

　　中芯國(guó)際技術(shù)研究發(fā)展執(zhí)行副總裁李序武在會(huì)上從半導(dǎo)體工藝的角度對(duì)傳感器的技術(shù)演講進(jìn)行了分享。他指出，未來(lái)CMOS Sensor將會(huì)向3D-CIS發(fā)展，而MEMS傳感器則是向TSV，WLCSP方向發(fā)展。

　　李序武指出，未來(lái)需要CMOS與MEMS工藝的無(wú)縫集成。他對(duì)這兩個(gè)工藝進(jìn)行了分析比較，MEMS演進(jìn)需要新的工藝，包括深硅刻蝕、晶園級(jí)綁定、高精度晶園減薄、真空封裝以及TSV與WLP封裝；而CMOS演進(jìn)則是需要新的材料，包括Cr/Au/Ti/Cu/Al等金屬化物、磁材料以及壓電材料。此外，MEMS還需要特殊的測(cè)試方式、機(jī)械壓力與可靠性測(cè)試、IR與超聲探測(cè)以及3D測(cè)繪等。

　　他認(rèn)為CMOS與MEMS集能帶來(lái)諸多優(yōu)勢(shì)，“集成帶來(lái)SoC級(jí)別的設(shè)計(jì)和架構(gòu)，集成會(huì)帶來(lái)更低量產(chǎn)成本，集成會(huì)在EMI與寄生性能等方面帶來(lái)更高的性能。”下圖，是他分享的一些CMOS-MEMS集成的工藝。

　　圖 ：一些 CMOS-MEMS集成的工藝

　?。邸D：SMIC目前和未來(lái)將能提供的各種工藝。/center］

　?。踓enter］圖：SMIC在MEMS傳感品上的演進(jìn)圖，今年已可以量產(chǎn)硅麥與一些運(yùn)動(dòng)傳感器包括9軸傳感器；預(yù)計(jì)明年可以生產(chǎn)壓力傳感器，而未來(lái)將向高端的RF MEMS、各種生物傳感器、微投傳感器等邁進(jìn)。