4200A-CVIV多開關(guān)使測試時間縮短30倍

把各種測量集成到器件特性分析中最困難的問題之一，是每種測量類型基本上都要求不同的線纜。選擇與測量類型配套的線纜增強了測量完整性。但是，改變每種測量類型的電纜耗時很長，許多用戶只能接受次優(yōu)結(jié)果。此外，在重新連接電纜時，用戶會面臨電纜重連不正確的風(fēng)險，進而導(dǎo)致錯誤，需要額外的調(diào)試時間。更糟糕的是，這些錯誤在很長時間內(nèi)都可能注意不到。

針對這些開關(guān)測試的困擾，泰克圍繞客戶應(yīng)用需求進行創(chuàng)新，其新型吉時利高速度、高完整性開關(guān)解決方案幫助客戶輕松完成復(fù)雜測試。4200A-CVIV多通道開關(guān)在I-V測量和C-V測量之間自動切換，C-V測量可以移動到任何輸出通道上，而不需重新布線。這種4通道開關(guān)允許用戶在I-V和C-V測試期間保持相同的阻抗，可以把探針保留在晶圓測試站上。另外，用戶不需要改變測試設(shè)置和電纜連接，從而增強測量的準(zhǔn)確性。

雙像素二極管特性分析應(yīng)用

伯克利國家實驗室檢測器部門的科研人員正在開發(fā)更高效的硅檢測器，用來監(jiān)測空基應(yīng)用中使用的各種放射信號，如X射線。其檢測器是一種雙像素二極管傳感器。雙像素二極管由兩個PIN二極管組成，每個二極管的陽極相連。開發(fā)工作包括在工廠鑄造晶圓。晶圓鑄造工藝一般要求在晶圓制作的各個階段及在晶圓完工時進行測試，以保證工藝完整性，確保原型器件滿足設(shè)計規(guī)范。

典型的器件特性分析包括在高達(dá)100V和CV (電容-電壓)的正向和逆向偏置條件下分析IV特性。由于器件是雙二極管排列，因此每個器件要執(zhí)行兩次IV和CV測試，一對二極管中每個二極管測試一次。在使用老式測試配置和設(shè)備時，整個器件特性分析中每個器件需要長達(dá)10分鐘才能完成IV和CV測試。

將老式IV/CV測試設(shè)備換上吉時利Model 4200A和最新CVIV多開關(guān)后，客戶的測試時間明顯縮短，因為不需要為每種測試類型手動重新配置測試，大大改善了數(shù)據(jù)采集和管理工作。

通過利用4200A-CVIV多開關(guān)來消除測試站重新配置，并在Clarius測試軟件內(nèi)部綜合執(zhí)行所有測試，總體測試時間從6分鐘縮短到僅12秒。盡管這不是生產(chǎn)環(huán)境，但測試時間縮短到幾秒仍令科研人員非常高興，因為他們可以把重點放在研究上，更快地了解器件特點。

圖1：4200A-CVIV多開關(guān)。

圖2：使用傳統(tǒng)設(shè)備所需的測試時間與使用4200A-SCS參數(shù)分析儀及CVIV多開關(guān)所需的測試時間。

泰克高性能4200A-SCS 是一個模塊化、可定制、高度一體化的參數(shù)分析儀，可同時進行電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V) 和超快脈沖 I-V 電學(xué)測試。使用其可選的 4200A-CVIV 多通道開關(guān)模塊，可輕松地在 I-V 和 C-V 測量之間切換，而無需重新布線或抬起探針。4200A-SCS參數(shù)分析儀可大大加快客戶的測試速度，廣泛用于材料研究、半導(dǎo)體器件設(shè)計、工藝開發(fā)或生產(chǎn)的復(fù)雜器件。