論SMI SM95D/G在充油芯體領(lǐng)域應(yīng)用

　　作者：貝能國際有限公司 耿天祥

　　關(guān)鍵詞：

　　引言：

　　隨著電子技術(shù)及MEMS技術(shù)的發(fā)展，我們身邊越來越多的充斥著各種各樣的傳感器，如溫度、濕度、壓力、光學(xué)、磁性等，他們在我們生活中扮演著如耳朵、眼睛等非常重要的角色，今天我們的重點(diǎn)則是關(guān)于壓力傳感器方面的應(yīng)用，壓力傳感器目前在工業(yè)自動(dòng)化、石油化工、航空航天、電力、醫(yī)療、汽車尾氣檢測等行業(yè)應(yīng)用非常廣泛、而充油芯體則是壓力傳感器中非常重要的組成部分，目前充油芯體核心基本以擴(kuò)散硅式設(shè)計(jì)為主，設(shè)計(jì)上更為便捷應(yīng)用上更為方便，本文將介紹基于SMI公司的SM95系列微壓壓阻式硅傳感器在壓力芯體上的應(yīng)用。

　　壓力變送器及壓力芯體的結(jié)構(gòu)及原理簡介：

　　壓力芯體在壓力測量中充當(dāng)了壓力信號的初值反饋，最終壓力信號經(jīng)過校準(zhǔn)、調(diào)理等將信號給到壓力變送器中，當(dāng)壓力作用在測量膜片的表面時(shí)，膜片產(chǎn)生微小的形變，測量膜片上的高精度電路將這個(gè)微小的形變變換成為與壓力成正比的高度線性并與激勵(lì)電壓也成正比的電壓信號，然后將該信號給出，達(dá)到壓力測量的效果，壓力變送器一般由壓力充油芯體、調(diào)制電路、連接器、安裝口、外殼等組成。其中壓力充油芯體最為重要，它決定了壓力變送器的精度、穩(wěn)定性等關(guān)鍵性能指標(biāo)，其中圖一及圖二分別展示了一般壓力變送器的結(jié)構(gòu)圖及充油芯體圖，從變送器結(jié)構(gòu)圖中我們也可以清楚的看到變送器測量端壓力充油芯體的位置。

　　圖一

　　圖二

　　壓力芯體是制造壓力傳感器及變送器的核心部件，作為一種高性能的敏感器件可以很方便的進(jìn)行信號放大處理，裝配成標(biāo)準(zhǔn)信號輸出到變送器，將壓力敏感器件即壓力MEMS芯片(DIE)封裝到一定材料的基座中，外加壓力通過不銹鋼膜片、內(nèi)部密封然后充油，通過硅油傳遞到MEMS芯片上，MEMS芯片不直接接觸被測介質(zhì)，形成壓力測量的全固態(tài)結(jié)構(gòu)，所以適用于各種環(huán)境、包括惡劣的腐蝕介質(zhì)環(huán)境，MEMS芯片外加氟橡膠圈進(jìn)行壓力可靠密封裝配，然后將MEMS芯片測量值通過電壓信號傳輸出去，圖二外形圖展示了壓力芯體的結(jié)構(gòu)，具有可靠性高、抗腐蝕、應(yīng)用廣泛等特點(diǎn)。

　　SM95D/G系列微壓MEMS芯片介紹：

　　SM95系列是一款硅型微壓電阻式壓力傳感芯片，其滿量程為0.15 到1.5PSI(1到 10 kPa)，特別適用于OEM和高容量應(yīng)用，以DIE形式提供，可作為OEM系統(tǒng)的一部分貼裝在陶瓷基板或PCB基板上。此外還可以封裝到專有系列傳感器或特定應(yīng)用系列傳感器中，其結(jié)構(gòu)如圖三，以表壓及差壓形式提供，具有2*2mm封裝，適合用于微壓充油芯體領(lǐng)域。

　　圖三

　　SM95系列采用壓阻式壓力測量，為全橋式測量方式，如圖四，其內(nèi)部等效方式如圖五，這種方式由于采用差分信號計(jì)算，有效的避免了壓力隨溫度變化的影響，在壓力測量上更加準(zhǔn)確，同時(shí)采用topside micromachined工藝技術(shù)，有效的降低了生產(chǎn)成本，SM95系列的關(guān)鍵參數(shù)如圖六，其過載壓力達(dá)到8倍，爆破壓力達(dá)到10倍，處于行業(yè)領(lǐng)先地位。

　　圖四