初生已成虎狼之勢(shì)，國(guó)產(chǎn)大硅片企業(yè)自有燎原之法？

　　上海新昇

　　上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司12英寸大硅片項(xiàng)目位于上海浦東新區(qū)臨港重裝備園區(qū)，一期項(xiàng)目投資18億元，設(shè)計(jì)產(chǎn)能為15萬(wàn)片/月的12英寸硅片，預(yù)計(jì)全年電子級(jí)多晶硅使用量為450噸，目前已經(jīng)投產(chǎn)。

　　作為國(guó)內(nèi)首個(gè)300mm大硅片項(xiàng)目，上海新昇的動(dòng)態(tài)一直備受業(yè)界關(guān)注，繼向上海華力微銷(xiāo)售正片后，日前再傳出好消息：其大硅片已通過(guò)中芯國(guó)際認(rèn)證。

　　上海新昇項(xiàng)目于2015年7月正式動(dòng)工，自2017年第二季度開(kāi)始有擋片、空片、陪片等測(cè)試片的銷(xiāo)售，并向中芯國(guó)際、上海華力微、武漢新芯等晶圓制造企業(yè)提供正片進(jìn)行認(rèn)證。2018年一季度末，上海新昇300mm硅片正片通過(guò)上海華力微的認(rèn)證并開(kāi)始銷(xiāo)售， 如今終于傳來(lái)好消息。12月20日，上海新陽(yáng)在互動(dòng)平臺(tái)上透露，上海新昇公司大硅片已通過(guò)中芯國(guó)際認(rèn)證。這對(duì)于上海新昇甚至整個(gè)國(guó)產(chǎn)硅片而言都是個(gè)好消息。

　　項(xiàng)目?jī)?yōu)勢(shì)：

　　1.本項(xiàng)目所使用的技術(shù)均來(lái)自上海新昇開(kāi)發(fā)的技術(shù)以及引進(jìn)部分關(guān)鍵核心技術(shù)，在生產(chǎn)設(shè)備與機(jī)臺(tái)的選型上采用具有國(guó)際或國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平的高效低耗的設(shè)備，以降低能耗。

　　2.上海新昇將設(shè)立專(zhuān)職的研發(fā)部門(mén)，分別為前后段的工藝、設(shè)備、品管和產(chǎn)品優(yōu)良率從事研究和開(kāi)發(fā)工作。

　　3.上海新昇與韓國(guó)的S公司和美國(guó)的K公司達(dá)成協(xié)議，三方組成研發(fā)團(tuán)隊(duì)，共同為本公司的各種拉晶爐進(jìn)行不斷的研發(fā)與改進(jìn)。同時(shí)上海新昇的研發(fā)團(tuán)隊(duì)還將對(duì)“回火爐和表面處理爐”等關(guān)鍵技術(shù)和設(shè)備繼續(xù)研發(fā)。

　　目前該項(xiàng)目已經(jīng)投產(chǎn)，產(chǎn)品已經(jīng)通過(guò)了華力微電子的認(rèn)證，中芯國(guó)際認(rèn)證。

　　西安奕斯偉硅產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目

　　西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司成立于2018年2月，是奕斯偉科技有限公司(ESWIN)在西安成立的硅材料制造公司。該項(xiàng)目投資30億元，地點(diǎn)位于長(zhǎng)安通訊產(chǎn)業(yè)園區(qū)，設(shè)計(jì)產(chǎn)能為5萬(wàn)片/月的12英寸硅片。從開(kāi)工到投產(chǎn)運(yùn)營(yíng)預(yù)計(jì)共21個(gè)月，于2020年6月投產(chǎn)。

　　1月17日，西安奕斯偉硅產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目正式封頂， 最終目標(biāo)：月產(chǎn)能100萬(wàn)片

　　項(xiàng)目?jī)?yōu)勢(shì)：

　　1.拉晶方面將優(yōu)選具有最佳直徑控制系統(tǒng)和生長(zhǎng)系統(tǒng)的拉晶爐，配備32寸的熱場(chǎng)，通過(guò)加載超導(dǎo)磁場(chǎng)控制熔體對(duì)流，拉直無(wú)錯(cuò)位的單晶硅棒。

　　2.硅片加工技術(shù)采用目前業(yè)內(nèi)最先進(jìn)的切片設(shè)備，保證硅片的切制品質(zhì)，配置德國(guó)的拋光設(shè)備，保證硅片表面的幾何結(jié)構(gòu)達(dá)到先進(jìn)納米制程的需求。

　　3.在清洗設(shè)備的選擇上，將選擇最佳的日本清洗設(shè)備，配置最高等的潔凈間設(shè)計(jì)、動(dòng)力供給和生產(chǎn)管控，去除硅片表面殘留的顆粒。

　　4.外延工序，優(yōu)選最佳的美國(guó)外延設(shè)備，該設(shè)備能有效降低外延生長(zhǎng)過(guò)程中原子間的滑移，確保外延片的質(zhì)量。

　　鄭州合晶硅片項(xiàng)目

　　鄭州合晶硅材料有限公司成立于2017年2月，是由臺(tái)灣合晶科技集團(tuán)下屬的上海合晶硅材料有限公司和上海晶盟硅材料有限公司共同出資組建，投資12億元在鄭州航空港經(jīng)濟(jì)綜合實(shí)驗(yàn)區(qū)建設(shè)年產(chǎn)240萬(wàn)片200mm硅單晶拋光片生產(chǎn)項(xiàng)目。臺(tái)灣合晶科技集團(tuán)公司是全球第七大硅片供應(yīng)商，也是全球前三的低阻重?fù)焦杵?yīng)商，致力于半導(dǎo)體硅片產(chǎn)業(yè)已有20余年。

　　本項(xiàng)目設(shè)計(jì)生產(chǎn)200mm輕摻硅單晶拋光片(輕摻硼、輕摻磷)120萬(wàn)片/年;200mm重?fù)焦鑶尉伖馄?重?fù)脚稹⒅負(fù)搅?、重?fù)缴?、重?fù)戒R)120萬(wàn)片/年，每年約消耗300萬(wàn)噸電子級(jí)多晶硅。

　　項(xiàng)目?jī)?yōu)勢(shì)：

　　1.采用先進(jìn)的直拉法長(zhǎng)晶技術(shù)，長(zhǎng)晶條件穩(wěn)定，可得到電阻率及摻質(zhì)分布均勻的優(yōu)質(zhì)單晶。

　　2.應(yīng)用先進(jìn)的液體覆蓋直拉技術(shù)，即在晶體生長(zhǎng)室內(nèi)充入惰性氣體，使其壓力大于熔體的分解壓力，以抑制熔體中揮發(fā)性組元的蒸發(fā)損失。

　　3.使用清潔的面清洗電子級(jí)多晶硅原料，從源頭上減少污染物的產(chǎn)生。

　　4.采用先進(jìn)的切、磨、拋和潔凈封裝工藝，保證產(chǎn)品質(zhì)量和優(yōu)良的性能指標(biāo)。

　　5.本次工程中的長(zhǎng)晶爐、坩堝、石墨加熱器、線切割機(jī)/鋼線、研磨機(jī)及配套組件均選用國(guó)外先進(jìn)生產(chǎn)設(shè)備。

　　6.采用節(jié)能設(shè)備降低能耗，并使用自控技術(shù)方案，提高了生產(chǎn)自動(dòng)化水平。

　　安徽易芯

　　安徽易芯半導(dǎo)體公司年產(chǎn)160萬(wàn)片12英寸半導(dǎo)體硅片項(xiàng)目，地點(diǎn)位于合肥市新站區(qū)佳海工業(yè)園，一期項(xiàng)目總投資8900萬(wàn)元建設(shè)年產(chǎn)96噸12英寸半導(dǎo)體級(jí)單晶硅棒，每年約消耗97.2噸電子級(jí)多晶硅。

　　項(xiàng)目?jī)?yōu)勢(shì)：

　　1.本項(xiàng)目所使用的技術(shù)均來(lái)自安徽易芯開(kāi)發(fā)的技術(shù)以及引進(jìn)部分關(guān)鍵核心技術(shù)，在生產(chǎn)設(shè)備與機(jī)臺(tái)的選型上采用具有國(guó)際或國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平的高效低耗的設(shè)備，以降低能耗。

　　2.一期項(xiàng)目單晶硅棒生產(chǎn)過(guò)程中使用的原料主要為免洗多晶硅，輔料有母合金(主要成分為硅)，符合清潔生產(chǎn)要求。

　　北京有研

　　北京有研科技集團(tuán)有限公司(簡(jiǎn)稱(chēng)有研集團(tuán))創(chuàng)建于1952年，是我國(guó)有色金屬行業(yè)以創(chuàng)新為引領(lǐng)的綜合性工程技術(shù)研究開(kāi)發(fā)和高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)培育實(shí)體，現(xiàn)為國(guó)務(wù)院國(guó)資委管理的中央企業(yè)，注冊(cè)資金為30億元。

　　公司主要從事微電子與光電子材料、新能源材料、有色金屬特殊功能材料、有色金屬結(jié)構(gòu)材料與制備加工技術(shù)、有色金屬粉末及粉末冶金、有色金屬選礦冶金技術(shù)、特種裝備研制、有色金屬材料分析與測(cè)試、有色金屬科技情報(bào)與軟科學(xué)、材料計(jì)算與模擬仿真等領(lǐng)域的工程化技術(shù)研究開(kāi)發(fā)、服務(wù)和產(chǎn)業(yè)化。在半導(dǎo)體材料、有色金屬?gòu)?fù)合材料、稀土材料、生物冶金、材料制備加工、分析測(cè)試、新能源材料等領(lǐng)域擁有16個(gè)國(guó)家級(jí)研究中心和實(shí)驗(yàn)室，承擔(dān)了一批國(guó)家重大科技專(zhuān)項(xiàng)研究課題和國(guó)家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)項(xiàng)目。

　　產(chǎn)品信息：

　　大直徑單晶硅(片)：有研總院擁有國(guó)內(nèi)規(guī)模最大、技術(shù)水平最先進(jìn)的集成電路用硅單晶生產(chǎn)能力，可生產(chǎn)直徑200mm-450mm的系列大直徑單晶硅棒、重?fù)焦钂伖馄洼p摻拋光片。產(chǎn)品得到了美國(guó)、日本和韓國(guó)等重要高端客戶的高度評(píng)價(jià)，主要應(yīng)用于大規(guī)模集成電路領(lǐng)域。

　　區(qū)熔單晶硅：有研總院具備生產(chǎn)系列區(qū)熔硅單晶產(chǎn)品的能力，產(chǎn)品用于電力整流器、晶閘管、可關(guān)斷門(mén)極晶閘管(GTO)、功率場(chǎng)效應(yīng)管(MOSFET)、絕緣柵雙極型晶體管(IGBT)、功率集成電路(PIC)等電力電子器件。