蘇州工業(yè)園MEMS中試量產(chǎn)平臺運行良好

日前，蘇州工業(yè)園區(qū)納米產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司傳出消息，其公司負責(zé)的MEMS中試量產(chǎn)平臺（以下簡稱“平臺”）目前運行良好，已服務(wù)客戶60余家、產(chǎn)品180余顆，2019年預(yù)計出貨超過20000片6寸片，年出貨量在全國代工線中名列前茅。

MEMS制造環(huán)節(jié)門檻高、技術(shù)含量高，是制約中國MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸，也是從實驗室到可銷售產(chǎn)品的最核心的支撐環(huán)節(jié)。為構(gòu)建“研發(fā)——中試——規(guī)模生產(chǎn)”完整的MEMS產(chǎn)業(yè)鏈鏈，加快MEMS企業(yè)創(chuàng)新和規(guī)?；砷L過程，2013年，蘇州納米科技發(fā)展有限公司（蘇州工業(yè)園區(qū)國資辦下屬國資公司，以下簡稱納米公司）代表蘇州工業(yè)園區(qū)管委會，策劃籌建了蘇州工業(yè)園區(qū)納米產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司MEMS中試量產(chǎn)平臺（以下簡稱“平臺”）。

平臺得到了工信部等各級政府支持，以支撐蘇州工業(yè)園區(qū)及中國MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展為主要使命，完全按照代工模式建立，服務(wù)于各類企業(yè)、科研院所、研發(fā)機構(gòu)、創(chuàng)業(yè)團隊，提供研發(fā)支持、代工服務(wù)，全開放、市場化運營，從根本上解決MEMS設(shè)計企業(yè)產(chǎn)品化的難題。

平臺2014年首顆產(chǎn)品通線，2017年真正實現(xiàn)量產(chǎn)，經(jīng)過多年的努力，形成了一支完整的高水平技術(shù)團隊，積累了國內(nèi)種類最多的MEMS產(chǎn)品量產(chǎn)經(jīng)驗，申請了60多項發(fā)明專利，已成為國內(nèi)工藝種類最全、部分工藝能力最強的MEMS代工線。另外，平臺已與日本愛發(fā)科簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議，共同開發(fā)下一代MEMS關(guān)鍵技術(shù)——PZT壓電薄膜MEMS傳感器，明年年初將成為國內(nèi)首個可量產(chǎn)PZT MEMS器件的產(chǎn)線，為國內(nèi)企業(yè)搶抓下一代MEMS產(chǎn)品先機提供了堅實的基礎(chǔ)。在此基礎(chǔ)上，平臺正計劃建設(shè)8英寸線，更好地支撐國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展。