臺媒：半導(dǎo)體設(shè)備廠翔名打入臺積電EUV供應(yīng)鏈

【TechWeb】7月23日消息，據(jù)臺灣媒體報道，臺灣半導(dǎo)體設(shè)備廠翔名打入了臺積電EUV（極紫外光刻）供應(yīng)鏈。

臺積電

臺媒稱，翔名切入臺積電5nm極紫外光（EUV）光罩盒表面處理業(yè)務(wù)，與EUV光罩盒大廠接洽合作機(jī)會，以獨家專利無電鍍鎳（ENP）表面處理技術(shù)來提升產(chǎn)品良率，目前該光罩盒廠正進(jìn)行評估測試，未來獲臺積電EUV制程指定產(chǎn)品入場門票機(jī)會大增。

為跨入5nm EUV光罩盒業(yè)務(wù)，翔名積極接觸光罩盒大廠尋求合作契機(jī)，提供無電鍍鎳／化學(xué)鎳（ENP，Electroless Nickel Plating）表面處理專利技術(shù)，可在金屬或塑料等固體基材表面上沉積一層均勻的鎳磷合金，使其EUV光罩盒不沾染、減少微粒工序，延長產(chǎn)品生命周期。

有分析稱，一旦取得EUV光罩盒表面處理業(yè)務(wù)，以臺積電光罩盒替換需求在近萬套水準(zhǔn)，加上后續(xù)4nm及3nm陸續(xù)量產(chǎn)需求，翔名2021年營運(yùn)表現(xiàn)值得期待。