如何能夠更容易地建立基于MEMS的解決方案呢？

對于使用電機(jī)、發(fā)電機(jī)和齒輪等的機(jī)械設(shè)備和技術(shù)系統(tǒng)，狀態(tài)監(jiān)控是當(dāng)前的核心挑戰(zhàn)之一。在最大限度降低生產(chǎn)停機(jī)風(fēng)險這一方面， 計劃性維護(hù)的重要性日益凸顯，不僅是在工業(yè)領(lǐng)域，在任何使用機(jī)械系統(tǒng)的地方均是如此。

除此以外，本文還分析了機(jī)器的振動模式。齒輪箱導(dǎo)致的振動在頻域體現(xiàn)為軸速的倍數(shù)。不同頻率點(diǎn)的磨損、不平衡或松脫的部件等異常。我們通常使用基于MEMS （微機(jī)電系統(tǒng)）的加速度計來測量頻率。與壓電式傳感器相比，它們具有更高的分辨率、出色的漂移特性和靈敏度，以及更高的信噪比(SNR)，此外，還能檢測幾乎接近直流范圍的極低頻率振動。

本文介紹一種基于 ADXL1002 MEMS加速度計的高線性、低噪聲、寬帶振動測量解決方案。這種解決方案可用于實施軸承分析或發(fā)動機(jī)監(jiān)測，且適用于所有需要動態(tài)范圍高達(dá)±50 g、頻率響應(yīng)范圍為從直流至11 kHz的應(yīng)用。

圖1顯示的是一個示例電路。來自ADXL1002的模擬輸出信號通過2階RC濾波器饋送至逐次逼近寄存器(SAR)模數(shù)轉(zhuǎn)換器(ADC)AD4000，將模擬信號轉(zhuǎn)化為數(shù)字值，以進(jìn)一步處理信號。

圖1. ADXL1002的示例電路

ADXL1002是一個高頻率的單軸MEMS加速度計，提供遠(yuǎn)超過傳感器諧振頻率范圍的輸出信號通頻帶。采用此器件之后，也可以監(jiān)測 3 dB帶寬以外的頻率。為了實施這種監(jiān)測，ADXL1002的輸出放大器需要支持70 kHz小信號帶寬。使用ADXL1002的輸出放大器也可以直接驅(qū)動實現(xiàn)高達(dá)100 pF的容性負(fù)載。要實現(xiàn)高于100 pF的負(fù)載，需要使用不低于8 kΩ的串聯(lián)電阻。

ADXL1002的輸出端需要配備外部濾波器，以消除ADXL1002的輸出放大器和其他內(nèi)部噪聲組件產(chǎn)生的混疊噪聲，例如，耦合內(nèi)部 200 kHz時鐘信號產(chǎn)生的噪聲。因此，需要相應(yīng)采用濾波器帶寬。采用圖1所示的尺寸（R1 = 16 kΩ，C1 = 300 pF，R2 = 32 kΩ，C2 = 300 pF）時，在200 kHz時會實現(xiàn)約84 dB衰減。此外，選擇的ADC采樣速率應(yīng)該高于放大器的帶寬（例如，32 kHz）。

對于ADC，選擇ADXL1002的電源電壓作為其基準(zhǔn)電壓源，這是因為輸出放大器與電源電壓成比率關(guān)系。在本例中，電源電壓的容差和電壓溫度系數(shù)（一般連接至外部穩(wěn)壓器）介于加速度計和ADC之間，所以可以抵消與電源和基準(zhǔn)電壓相關(guān)的隱含誤差。

頻率響應(yīng)

加速度計的頻率響應(yīng)是該系統(tǒng)最重要的特性，具體如圖2所示。在頻率高出約2 kHz至3 kHz時，增益增加。對于諧振頻率(11 kHz)，在輸出電壓下產(chǎn)生約12 dB（因子為4）的最大增益值。

圖2. ADXL1002的頻率響應(yīng)

為了顯示量程過沖（超量程），ADXL1002配備了一個對應(yīng)的輸出（OR引腳）。發(fā)生明顯的超量程事件時，集成式監(jiān)測器會發(fā)出警報。

機(jī)械安裝注意事項

應(yīng)特別注意將加速度計放置在正確的位置。加速度計應(yīng)安裝在靠近板的剛性安置點(diǎn)的位置，避免電路板本身產(chǎn)生任何振動，以 及因為電路板振動未受抑制而導(dǎo)致的測量誤差。這種放置可以確保加速度計每次受到的電路板振動的頻率都高于機(jī)械傳感器的諧振頻率，因此實際上對加速度計是不可見的。多個安裝點(diǎn)時，接近傳感器和較厚的板也有助于降低系統(tǒng)諧振對傳感器性能的影響。

結(jié)論

采用圖1所示的電路時，可以相對容易地構(gòu)建基于MEMS的解決方案，該方案可以檢測直流范圍到11 kHz的振動（旋轉(zhuǎn)機(jī)器的狀態(tài)監(jiān)控通常要求采用這一范圍）。

ADXL1002

● 具有模擬輸出的單平面軸加速度計

● 從直流到 11 kHz 的線性頻率響應(yīng)范圍（3 dB 點(diǎn)）

   ■ 21 kHz 諧振頻率

● 超低噪聲密度

● 25 μg/√Hz，在 ±50 g 范圍內(nèi)

● 超范圍感測和直流耦合實現(xiàn)快速的恢復(fù)時間

● 全面的機(jī)電自檢

● 靈敏度性能

    ■ 溫度靈敏度穩(wěn)定性 5%

    ■ 線性度為滿度范圍的 ±0.1%

    ■ 交叉軸靈敏度 ±1% (ZX), ±1% (YX),

● 單電源供電

   ■ 與電源成比例的輸出電壓

   ■ 低功耗 1.0 mA

   ■ 省電待機(jī)操作模式，提供快速恢復(fù)

● 與 RoHS 兼容

● 工作溫度范圍 ?40°C 至 +125°C

● 5 mm × 5 mm × 1.80 mm LFCSP 封裝