艾邁斯歐司朗與愛思強(qiáng)宣布,面向Micro LED應(yīng)用的200mm晶圓AIXTRON G5+ C和G10-AsP系統(tǒng)已獲艾邁斯歐司朗認(rèn)證

全球領(lǐng)先的光學(xué)解決方案供應(yīng)商艾邁斯歐司朗和半導(dǎo)體行業(yè)沉積設(shè)備領(lǐng)先供應(yīng)商愛思強(qiáng)（AIXTRON SE）近日聯(lián)合宣布，200mm晶圓AIXTRON G5+ C和G10-AsP系統(tǒng)已獲得艾邁斯歐司朗的認(rèn)證，可用于滿足Micro LED應(yīng)用需求。

愛思強(qiáng)的MOCVD系統(tǒng)AIX G5+ C和全新G10-AsP提供AIXTRON行星衛(wèi)星式氣浮旋轉(zhuǎn)水平技術(shù)（Planetary Technology），為下一代高分辨率Micro LED顯示屏鋪平了道路。早在2022年第一季度，艾邁斯歐司朗宣布200mm產(chǎn)能增建計(jì)劃，在馬來西亞現(xiàn)有工廠實(shí)現(xiàn)LED和Micro LED產(chǎn)能。MOCVD系統(tǒng)有望助力實(shí)現(xiàn)Micro LED的批量生產(chǎn)，打造出新一代顯示應(yīng)用。

艾邁斯歐司朗執(zhí)行副總裁兼光電半導(dǎo)體業(yè)務(wù)負(fù)責(zé)人Robert Feurle表示：“愛思強(qiáng)和艾邁斯歐司朗保持著長期的合作關(guān)系，我們熟悉其設(shè)備的性能和質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。對于任務(wù)艱巨的項(xiàng)目，例如開發(fā)和生產(chǎn)適用于AsP和GaN器件的Micro LED，愛思強(qiáng)正是我們需要的合作伙伴?！睈鬯紡?qiáng)首席執(zhí)行官兼總裁Felix Grawert博士補(bǔ)充道：“G10-AsP和AIX G5+ C已成功獲得艾邁斯歐司朗的認(rèn)證，這是我們公司歷史上一個非常重要的里程碑。艾邁斯歐司朗是全球領(lǐng)先的LED制造商，完全有能力將全新的基礎(chǔ)性技術(shù)推向市場。我們正面臨著從傳統(tǒng)顯示技術(shù)向新型Micro LED顯示技術(shù)的重大轉(zhuǎn)變。如今，愛思強(qiáng)正在邁入一個潛力巨大的未來增長市場，而且我們還有一位理想的合作伙伴與我們攜手共進(jìn)。”Micro LED具備非常顯著的優(yōu)勢，例如更高的像素密度、更長的使用壽命、更高的亮度、更快的開關(guān)速度和更寬的色譜，進(jìn)一步提升顯示技術(shù)。相對能耗低也是一項(xiàng)重要優(yōu)勢，使得Micro LED技術(shù)非常適合用于下一代配備較小顯示器的消費(fèi)電子設(shè)備，通常這些設(shè)備為電池提供的空間非常有限。Micro LED有著特殊的生產(chǎn)要求：在其量產(chǎn)過程中包含一個特殊的批量轉(zhuǎn)移工藝步驟，數(shù)千個微米尺寸的LED芯片（陣列）被拾放。任何缺陷都可能導(dǎo)致像素壞死，使整個陣列變得無用。因此，必須使用幾乎無誤差的外延工藝，使缺陷最小化，支持高成品率和符合經(jīng)濟(jì)效益的Micro LED生產(chǎn)。愛思強(qiáng)的新型G10-AsP外延工具經(jīng)過精心設(shè)計(jì)，旨在滿足這項(xiàng)應(yīng)用的特殊需求。這項(xiàng)全新工具是世界首款全自動AsP反應(yīng)器，提供全自動“檢測盒到檢測盒”（cassette-to-cassette）晶圓裝載以及基于原位蝕刻的清潔機(jī)制。這兩個特性結(jié)合在一起會對成品率產(chǎn)生顯著影響。此外，間歇式反應(yīng)器技術(shù)還為愛思強(qiáng)系統(tǒng)帶來了多項(xiàng)優(yōu)勢：其每片晶圓的生產(chǎn)成本在當(dāng)前市場上屬于最低級別，而單位潔凈室面積吞吐量為最高級別。同時，該新工具擁有精確的流量和溫度控制功能，能在連續(xù)運(yùn)行時保持非常好的材料均勻性。