多位大咖發(fā)聲，如何推動國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展？

8 月 10 日，CSEAC 第十一屆（2023）半導(dǎo)體設(shè)備年會在無錫召開。本屆會議各大論壇座無虛席，這樣的盛況反映了半導(dǎo)體設(shè)備正越來越受到重視。美國政府對中國半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口的限制，讓過去不太「熱」的半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)走向人們關(guān)注的中心。華潤微、中微半導(dǎo)體、富創(chuàng)精密等 CEO 為國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)聲。中微半導(dǎo)體 CEO 尹志堯博士總結(jié)了美國從 2019 年開始對中國集成電路限制產(chǎn)業(yè)所出的「十五招」。

1.2019 年，荷蘭政府在美國政府的干預(yù)下，不允許 ASML 給國內(nèi)晶圓制造的龍頭企業(yè)中芯國際付運(yùn)最先進(jìn)的 EUV 極紫外光刻機(jī)，為開發(fā)先進(jìn)的芯片設(shè)置極大的障礙。

2.2020 年 4 月 17 日，美國政府宣布不允許中國的芯片公司用涉及美國設(shè)備和技術(shù)制造的芯片，供應(yīng)給軍方。

3.2020 年 5 月 15 日，美國政府出臺新的出口控制政策，不允許任何芯片公司用涉及美國設(shè)備和技術(shù)，為國內(nèi)芯片設(shè)計龍頭公司海思制造他們設(shè)計的芯片。

4.2020 年 8 月 17 日，美國商業(yè)部宣布，任何使用美國設(shè)備和軟件為華為生產(chǎn)產(chǎn)品都要獲得美國的許可證。

5.2020 年 8 月 27 日，美國商業(yè)部限制對中國出口半導(dǎo)體制造設(shè)備及相關(guān)軟件工具、激光器、傳感器。

6.2020 年 9 月 25 日，美國商務(wù)部要求向中芯國際提供設(shè)備和技術(shù)都要申請許可。

7.2020 年 12 月 18 日，美國商業(yè)部宣布將中芯國際列入「實(shí)體清單」，美國設(shè)備和關(guān)鍵零部件都要申請許可，10 納米及以下不給予許可。

8.2021 年 1 月 15 日，美國國防部將中微半導(dǎo)體設(shè)備公司列入「涉軍企業(yè)」名單。經(jīng)過據(jù)理力爭已從名單撤除。

9.2022 年 7 月-8 月，美國出臺《2022 年芯片與科學(xué)法案》，宣布 520 億美元投給芯片產(chǎn)業(yè)，涉及設(shè)備制造、研究發(fā)展、人員培養(yǎng)、成果轉(zhuǎn)換等；提供為期 4 年的 25% 的稅收減免，以鼓勵企業(yè)在美國本土建廠；總共 2000 億美元科學(xué)和技術(shù)研究基金。

10.2022 年 7 月底，對美國芯片制造設(shè)備行限制，美主要設(shè)備廠商在未經(jīng)許可的情況下，不可向中國大陸芯片制造商出貨。

11.2022 年 8 月初，出臺對中國芯片設(shè)計行業(yè) (EDA) 的限制。

12.2022 年 10 月 5 日，美國商業(yè)部工業(yè)安全局將 31 個中國公司列入 UVL 未確定名單，包含幾家集成電路制造和設(shè)備公司。美國商業(yè)部明示，要求這些公司主動和商業(yè)部溝通，如果能提出有說服力的終端客戶信息，排除涉及軍方項目，會將他們從清單上撤除。但是如果不能主動溝通，60 天以后就會將他們列到實(shí)體清單。

13.2022 年 10 月 7 日，美國商業(yè)部工業(yè)安全局發(fā)布對中國集成電路先進(jìn)制程的限制法案。這個法案可以用一句話說明: 美國人和美國公司 (American persons) 沒得到商業(yè)部許可，不得參與在中國芯片制造人工智能芯片，超算芯片，16/14 納米及以下 FinFET 和 GAA 邏輯器件，18 納米及以下的 DRAM 器件和 128 層及以上的 Falsh 器件，不得提供設(shè)備。

（AmericanPersons 是指四種人：美國公民，持美國綠卡的人，在美國生活和工作的外國人，在美國注冊的，總部在在美國的法人公司，該這個法案只對「美國人」包括美國公司法人有法律效力，對在中國注冊的中國公司沒有法律效力。）

14.2022 年 12 月 美國商業(yè)部工業(yè)安全局將 32 個中國公司列入「實(shí)體清單「，美公司不得提供設(shè)備。

15.美國政府極力推動日本政府和和荷蘭政府跟隨美國不得參與我國先進(jìn)芯片研發(fā)和生產(chǎn)，不得提供設(shè)備。日本政府在 2023 年 5 月 23 日發(fā)布了對 23 種半導(dǎo)體設(shè)備的出口限制。荷蘭政府也將出臺對光刻機(jī)限制出口的細(xì)節(jié)。

在美國時間 8 月 9 日，美國總統(tǒng)拜登簽署行政令設(shè)立對外投資審查機(jī)制，限制美國主體投資中國半導(dǎo)體和微電子、量子信息技術(shù)和人工智能領(lǐng)域，成為限制中國半導(dǎo)體的第十六招。從美國政府的種種限制中不難發(fā)現(xiàn)，半導(dǎo)體設(shè)備頻頻出現(xiàn)。這是因為半導(dǎo)體設(shè)備是集成電路產(chǎn)業(yè)的基石，限制了設(shè)備就可以限制行業(yè)的進(jìn)步。

工欲善其事，必先利其器

數(shù)碼產(chǎn)業(yè)是一個倒置的三角形，從應(yīng)用層面來看，數(shù)碼產(chǎn)業(yè)可能會有上幾十億的幾十萬億美金的規(guī)模；所有的應(yīng)用都要有一個硬件支撐叫電子系統(tǒng)，可能有幾萬億的產(chǎn)值；這些電子系統(tǒng)又被半導(dǎo)體芯片的設(shè)計和制造所支撐；而半導(dǎo)體設(shè)備則是半導(dǎo)體芯片制造的支撐。如果不能做出這樣高精尖的半導(dǎo)體微觀加工設(shè)備，就做不出芯片。

尹志堯博士介紹，目前一條 12 英寸的生產(chǎn)線大概需要 100 億美金的投資，其中 70% 用來買設(shè)備，總體來說要買 10 大類設(shè)備，細(xì)分的設(shè)備超過 170 種，細(xì)分到型號可能有 300 多種?？偟膩碚f，需要 3500 臺設(shè)備構(gòu)成一條生產(chǎn)線，這樣的數(shù)據(jù)組反映了設(shè)備市場的重要性與復(fù)雜程度。

隨著中國大陸半導(dǎo)體芯片市場需求的旺盛，半導(dǎo)體設(shè)備和材料市場也在逐漸蓬勃。當(dāng)前全球半導(dǎo)體設(shè)備制造市場上，美國制造商占比 45.64%、日本 31.05%、歐洲 21.91%；前五大制造商 AMAT/ASML/LAM/TEL/KLA 占比約 66%。與此同時，中國已經(jīng)成為全球最大的設(shè)備市場，這樣的數(shù)據(jù)表明，中國半導(dǎo)體設(shè)備制造商有著極大的潛力。在這樣的背景下，半導(dǎo)體設(shè)備公司如何把握機(jī)遇成為了重要議題。

內(nèi)卷時代，產(chǎn)業(yè)鏈上下游需要協(xié)同發(fā)展

華潤微電子執(zhí)行董事、總裁李虹博士表示，隨著半導(dǎo)體設(shè)備、材料及零部件等供應(yīng)鏈環(huán)節(jié)重要性凸顯，國產(chǎn)化進(jìn)度進(jìn)入到動態(tài)調(diào)整期，制造、設(shè)備企業(yè)對國內(nèi)基礎(chǔ)材料和零部件企業(yè)的支持力度明顯提升，驗證進(jìn)度已經(jīng)開始加快。已經(jīng)有多家國產(chǎn)設(shè)備細(xì)分龍頭出現(xiàn)。

與此同時，多個產(chǎn)業(yè)鏈上的公司表示行業(yè)出現(xiàn)了內(nèi)卷的情況，而這有可能影響半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的發(fā)展。2010 年，半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)曾經(jīng)出現(xiàn)了「藍(lán)光熱」現(xiàn)象，曾經(jīng)有 54 家企業(yè)宣布要開發(fā) GaN LED MOCVD 設(shè)備，其中大部分企業(yè)都拿到了投資；然而六七年后，52 家公司的項目都宣布終止。這種現(xiàn)象反映了行業(yè)的內(nèi)卷，是對人力、物力、財力的浪費(fèi)。

對于正在迎頭追趕的半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)，如果大量出現(xiàn)專利抄襲、人才挖角、投資機(jī)構(gòu)盲目投資之類的惡行問題，對整個行業(yè)的傷害是極大的。尹志堯博士表示，內(nèi)卷在高科技領(lǐng)域其實(shí)是一種正?，F(xiàn)象，但為了行業(yè)的健康發(fā)展，要杜絕的是惡性競爭；對此他也提出建議，政府和行業(yè)需要制定一些公平競爭的法則和規(guī)劃，降低內(nèi)耗，防止惡性競爭來促進(jìn)產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展。

半導(dǎo)體設(shè)備零部件公司富創(chuàng)精密董事長鄭廣文也提到，當(dāng)前半導(dǎo)體零部件企業(yè)面對的一個難題就是需求端的引領(lǐng)不足。零部件廠商需要了解產(chǎn)品的精度，但是沒有客戶就沒有方向。對于集成電路產(chǎn)業(yè)來說，越是上游就越要預(yù)測下游的趨勢，就越要走到下越前面。然而如果沒溝通、協(xié)作，上游廠商就無法與下游客戶一起發(fā)展。在這樣的情況下，「協(xié)同發(fā)展」整個集成電路產(chǎn)業(yè)從業(yè)者共同的訴求。

同時，整個行業(yè)已經(jīng)意識到了產(chǎn)業(yè)協(xié)同發(fā)展的重要性。富創(chuàng)精密就曾配合客戶從 0 到 1 完成一款設(shè)備的導(dǎo)入上線。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵在于人，尹志堯博士在演講中提到，中國留學(xué)生在多個半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)中都充當(dāng)了重要角色。而很多設(shè)備的領(lǐng)軍的人物都已經(jīng)回國，成為國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備公司的中堅力量。所以可以相信，在一段時間后，中國能開發(fā)出有國際競爭力的設(shè)備產(chǎn)業(yè)。

我們處在一個數(shù)碼時代，而它的核心是微觀加工，微觀加工的核心是微觀加工的設(shè)備。在這個「越做越小」的時代，國內(nèi)集成電路行業(yè)需要把自己的格局放大。