美日半導(dǎo)體設(shè)備公司出貨受限，韓國公司發(fā)力中國市場

由于受到美國政府限制，中國企業(yè)無法再從美國、日本或荷蘭公司獲得先進(jìn)的芯片制造工具，韓國企業(yè)看到了這樣的機(jī)遇，正在努力進(jìn)入中國市場。

據(jù)韓國媒體 TheElec 報道，韓國光學(xué)晶圓檢測設(shè)備制造商 Nextin 正在擴(kuò)大其在中國半導(dǎo)體市場的業(yè)務(wù)。據(jù)稱 Nextin 已與一家未公開的中國客戶簽署了一項(xiàng)價值 70 億韓元（合 539 萬美元）的協(xié)議，購買一臺 Aegis 3 機(jī)器。該模型的檢測速度比 Aegis 2 快 30%，計算性能為 1.47TFLOPS。

Nextin 不僅向 SK 海力士中國供應(yīng)光學(xué)檢測工具，還向一些中國芯片制造公司供應(yīng)光學(xué)檢測工具。目前尚不清楚 Nextin 是否繼續(xù)在向中國運(yùn)送的產(chǎn)品中使用源自美國的技術(shù)。

光學(xué)圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備分為明場和暗場兩大類別，兩者的主要區(qū)別是：明場設(shè)備是收集晶圓表面垂直反射的光信號來分析缺陷，而暗場設(shè)備是收集晶圓表面散射回來的光信號來分析。如果晶圓表面是平整沒有缺陷的，則明場設(shè)備反射回來的光是相對比較完整的入射光，而暗場設(shè)備的入射光則被全反射，其接收到的是散射光信號。隨著設(shè)備行業(yè)不斷發(fā)展，明場與暗場的定義也在變化，現(xiàn)在明場一般指的照明光路和采集光路在臨近晶圓段共用同一個顯微物鏡，而暗場指照明光路和采集光路在物理空間上是完全分離的。因?yàn)榇怪狈瓷浜蜕⑸涔庑盘柕牟顒e，明場設(shè)備的檢測靈敏度比暗場設(shè)備的高，但明場設(shè)備掃描速度也較慢。

Nextin 的 Aegis 設(shè)備可以檢測 200 毫米和 300 毫米晶圓，并且可以在明場和暗場模式下運(yùn)行。明場法使用反射光，可以發(fā)現(xiàn)小至 15 納米的缺陷。同時，依靠散射光的暗場方法可以檢測達(dá) 30 納米的缺陷。

量檢測設(shè)備的靈敏度、精確性、產(chǎn)能與反應(yīng)速度等性能指標(biāo)，隨著制程進(jìn)步不斷提升。同樣大小的缺陷在成熟制程中是非致命的，在先進(jìn)制程中卻有可能是導(dǎo)致電路失效的致命性缺陷，這對量檢測設(shè)備的靈敏度提出了更高的要求。一些特殊的集成電路結(jié)構(gòu)，如超薄膜（厚度小于 10 埃）、極高深寬比、非破壞性的圖形等結(jié)構(gòu)的測量，也對量檢測設(shè)備的 3D 成像能力、多次測量一致性等指標(biāo)提出了特殊的要求。按照當(dāng)下的標(biāo)準(zhǔn)，Nextin 的 Aegis 工具分辨率聽起來沒有特別高，但尺寸為 15 納米的缺陷仍然會嚴(yán)重破壞或損害 14 納米或 7 納米生產(chǎn)節(jié)點(diǎn)中結(jié)構(gòu)的運(yùn)行，因此其檢測至關(guān)重要。光學(xué)檢測工具比電子束或多電子束工具更快，這些光學(xué)檢測工具如今已被廣泛使用?？蛻舨粌H是晶圓廠，也可以是存儲產(chǎn)品制造廠。

國產(chǎn)量檢測設(shè)備市場

2022 全球量檢測設(shè)備市場規(guī)模超 800 億人民幣，中國國內(nèi)市場規(guī)模 2021 年約為 176 億人民幣。量檢測設(shè)備市場呈現(xiàn)出高度壟斷的格局，行業(yè)前 5 名分別為科磊、應(yīng)用材料、日立、泰雷光電創(chuàng)新科技。市場占比分別為 50.8%，11.5%，8.9%，5.6%，5.6%，行業(yè) TOP3 占據(jù)超 70% 的市場份額。市場整體被美日系企業(yè)把控。

量測設(shè)備各公司市場占比，來源：財通證券

科磊公司是全球最大的量檢測設(shè)備生產(chǎn)商。2022 年實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入 92.12 億美元，同比增長 33.14%；其中服務(wù)收入 19.10 億美元，占比 20.74%；設(shè)備收入 73.01 億美元，占比 79.26%。公司 2022 年的研發(fā)支出達(dá) 11.05 億美元。其產(chǎn)品種類豐富，覆蓋幾乎全部量檢測設(shè)備細(xì)分類。在宏觀晶圓形貌檢測，無圖形缺陷檢測，有圖形缺陷檢測、掩膜版檢測、刻套誤差測量等領(lǐng)域。2022 財年，科磊公司有 26.6 億美元的收入來自中國大陸，占比 28.88%；來自中國臺灣的收入為 25.28 億美元；占比 27.45%。

科磊公司的量檢測產(chǎn)品種類，來源：財通證券

量檢測設(shè)備難度較大，2020 年量檢測設(shè)備國產(chǎn)化率只有 2%。光學(xué)量檢測設(shè)備中：有圖形檢測設(shè)備占比約 31%；無圖形檢測設(shè)備占比約 10%，掩膜版量檢測設(shè)備占比約 13%，光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測占比約 10%，套刻誤差量測占比約 7%，薄膜測量占比 3%。國內(nèi)代表的光學(xué)檢測公司之一是中科飛測，中科飛測在光學(xué)量檢測領(lǐng)域覆蓋較為廣泛。該公司產(chǎn)品主要用于前道晶圓制造和先進(jìn)封裝，分為檢測設(shè)備和量測設(shè)備兩大類。檢測設(shè)備包括無圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備、有圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備；量測設(shè)備包括三維形貌量測設(shè)備、薄膜膜厚量測設(shè)備、套刻測量設(shè)備等。目前設(shè)備產(chǎn)品已應(yīng)用于國內(nèi) 28 納米及以上制程的集成電路產(chǎn)線中。

從數(shù)據(jù)上看，2022 年中國大陸光學(xué)類半導(dǎo)體量檢測設(shè)備的進(jìn)口額為 33.14 億美元（220.56 億元）。同期，中國大陸電子顯微鏡與衍射儀進(jìn)口額 12.26 億美元（80.21 億元，有部分電子顯微鏡與衍射儀用于集成電路生產(chǎn)）。如此大的市場機(jī)遇，誰能填補(bǔ)因?yàn)檎呦拗瓶杖钡氖袌觯?/span>