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晶圓級(jí)可靠性測(cè)試:器件開發(fā)的關(guān)鍵步驟(二)

作者: 時(shí)間:2013-11-30 來(lái)源:網(wǎng)絡(luò) 收藏
為應(yīng)力加載時(shí)間的函數(shù)作圖。所有的應(yīng)力偏壓和測(cè)量都是在高溫(例如,135℃)下完成。


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