中國(guó)MEMS自主特色發(fā)展之路五點(diǎn)建議

當(dāng)前，美國(guó)、日本、德國(guó)、英國(guó)、俄羅斯等國(guó)家競(jìng)相發(fā)展MEMS產(chǎn)業(yè)。我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)與世界的差距也不算太大，甚至某些方面還有自己的獨(dú)創(chuàng)性貢獻(xiàn)。近年來，投資迅猛，其發(fā)展勢(shì)頭值得期盼。

　　那么，我國(guó)應(yīng)該如何走出一條自主特色的發(fā)展之路呢？

　　由于MEMS產(chǎn)品種類繁多，生產(chǎn)工藝和標(biāo)準(zhǔn)體系難于有效整合，雖然MEMS產(chǎn)品可以用與半導(dǎo)體相同或者相近的生產(chǎn)線來制作，但只有少數(shù)幾類MEMS產(chǎn)品可以用大規(guī)模的foundry方式來生產(chǎn)，目前絕大部分MEMS產(chǎn)品都是以小批量方式生產(chǎn)的。這給世界MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展帶來了一定的挑戰(zhàn)性，也將奠定今后MEMS生產(chǎn)可能是既不同于IC代工模式也不同于IDM模式的另一種模式：即仍然走設(shè)計(jì)fabless化，而制造卻小規(guī)模化、工藝可以多樣化。

　　MEMS有特殊工藝和要求，這可能是2011年世界MEMS代工產(chǎn)業(yè)增長(zhǎng)慢于世界MEMS總體產(chǎn)業(yè)增長(zhǎng)的內(nèi)在原因。據(jù)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，2011年全球MEMS市場(chǎng)規(guī)模為102億美元，增長(zhǎng)率19%，而前二十大微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）代工廠的營(yíng)收僅比2010年增長(zhǎng)了5%。目前，MEMS代工業(yè)務(wù)在全球市場(chǎng)所占比例較小，不到6%;另外，MEMS代工廠營(yíng)收在全球總體營(yíng)業(yè)額中所占份額呈減少趨勢(shì)。

　　我國(guó)半導(dǎo)體制造廠和設(shè)計(jì)公司規(guī)模小、工藝分散、工藝制作水平相對(duì)落后，但這可能成為今后MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的一大特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)。因?yàn)榇蟛糠諱EMS產(chǎn)品都不必非要用最先進(jìn)、最尖端的IC工藝生產(chǎn)線來制作，只要產(chǎn)品設(shè)計(jì)理念先進(jìn)、應(yīng)用目標(biāo)清晰、市場(chǎng)定位明確，用落后幾代的半導(dǎo)體生產(chǎn)線照樣可以制作出一流水平的MEMS產(chǎn)品。

　　我國(guó)可以利用世界MEMS產(chǎn)業(yè)剛剛起步的機(jī)會(huì)，從產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀出發(fā)，奮起直追，變“墨點(diǎn)為梅花”般地巧妙而及時(shí)的轉(zhuǎn)型和發(fā)展。

　　第一，繼續(xù)發(fā)揮中低端產(chǎn)品成本低的優(yōu)勢(shì)，力爭(zhēng)在中低端領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)“通吃”；第二，逐步向產(chǎn)業(yè)鏈高端發(fā)展，不斷提高高價(jià)值MEMS產(chǎn)品比重；第三，國(guó)家適度規(guī)劃，盡可能推出能夠引導(dǎo)行業(yè)發(fā)展的并且能與世界MEMS技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)相兼容的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)；第四，促進(jìn)各類MEMS產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟、合作組織和學(xué)術(shù)交流與合作等發(fā)展；第五，同步進(jìn)行MEMS生產(chǎn)設(shè)備研發(fā)，培養(yǎng)高級(jí)MEMS產(chǎn)品設(shè)計(jì)人員等。