歐姆龍高精度16x16單元型非接觸式溫度傳感器
近期,根據(jù)歐姆龍株式會(huì)社宣布,歐姆龍已完成世界首次應(yīng)用晶圓級(jí)真空封裝技術(shù)的紅外線傳感器的研發(fā),成功開發(fā)了具有90度廣視野范圍并可實(shí)現(xiàn)高精度區(qū)域溫度檢測(cè)的16x16單元型非接觸式溫度傳感器,并擬于2013年10月開始出售樣品。
由于普遍用于人感傳感器的熱電傳感器無(wú)法檢測(cè)靜止不動(dòng)的人物,所以難以檢測(cè)人數(shù)及人物所處位置。鑒于這種情況,歐姆龍開發(fā)了能夠檢測(cè)靜止人物,具有90度廣視野范圍并可實(shí)現(xiàn)高精度區(qū)域溫度檢測(cè),用于人感傳感器的16×16單元型MEMS非接觸式溫度傳感器。
MEMS非接觸式溫度傳感器通過(guò)應(yīng)用MEMS技術(shù)的熱電堆將對(duì)象物體發(fā)出的紅外線能源變?yōu)闊崮?,并通過(guò)兩種金屬接點(diǎn)之間溫差所形成的熱電動(dòng)勢(shì)測(cè)量溫度。由于熱電堆所轉(zhuǎn)換的熱能大多數(shù)都會(huì)通過(guò)空氣散失,所以在金屬接點(diǎn)之間難以形成較大的溫差,致使熱電動(dòng)勢(shì)變小,無(wú)法提高靈敏度。
這一次,世界首次成功將熱電堆真空封裝在芯片內(nèi)。采用真空封裝即可避免將熱電堆轉(zhuǎn)換的熱能散失在空氣中,使金屬接點(diǎn)之間的溫差變大,從而可實(shí)現(xiàn)更高的靈敏度。
今后將與用于檢測(cè)人數(shù)及人物所處位置的演算法及非接觸式溫度傳感器結(jié)合在一起,作為組件化的人體傳感器竭力實(shí)現(xiàn)商品化。
據(jù)悉,配有該非接觸式溫度傳感器的人感傳感器展品將于7月3日(周三)至5日(周五),在日本東京Big Sight舉辦的“Nano Micro Biz 2013(原Micro Machine / MEMS展覽會(huì))”展出。
評(píng)論