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靜電放電及其防護(hù)

作者: 時(shí)間:2012-02-12 來(lái)源:網(wǎng)絡(luò) 收藏

基礎(chǔ)知識(shí):

  一.  術(shù)語(yǔ)及定義

  1. : 物體表面過(guò)?;虿蛔愕撵o止的電荷

  2. 場(chǎng):靜電在其周?chē)纬傻碾妶?chǎng)

  3.靜電:兩個(gè)具有不同靜電電位的物體,由于直接接觸或靜電場(chǎng)感應(yīng)引起兩物體間的靜電電荷的轉(zhuǎn)移。靜電電場(chǎng)的能量達(dá)到一定程度后,擊穿其間介質(zhì)而進(jìn)行的現(xiàn)象就是靜電放電。

  4.靜電敏感度:元器件所能承受的靜電放電電壓

  5.靜電敏感器件:對(duì)靜電放電敏感的器件

  6.接地 :電氣連接到能供給或接受大量電荷的物體,如大地,船等.

  7.中和: 利用異性電荷使靜電消失

  8.防靜電工作區(qū):配備各種防靜電設(shè)備和器材,能限制靜電電位,具有明確的區(qū)域界限和專(zhuān)門(mén)標(biāo)記的適于從事靜電操作的工作場(chǎng)地

  二、靜電的產(chǎn)生:

  1.摩擦:在日常生活中,任何兩個(gè)不同材質(zhì)的物體接觸后再分離,即可產(chǎn)生靜電,而產(chǎn)生靜電的最普通方法,就是摩擦生電。材料的絕緣性越好,越容易是使用摩擦生電。另外,任何兩種不同物質(zhì)的物體接觸后再分離,也能產(chǎn)生靜電;。

  2. 感應(yīng): 針對(duì)導(dǎo)電材料而言,因電子能在它的表面自由流動(dòng),如將其置于一電場(chǎng)中,由于同性相斥,異性相吸,正負(fù)電子就會(huì)轉(zhuǎn)移。

  3. 傳導(dǎo):針對(duì)導(dǎo)電材料而言,因電子能在它的表面自由流動(dòng),如與帶電物體接觸,將發(fā)生電荷轉(zhuǎn)移。

  三、靜電對(duì)電子工業(yè)的影響

  集成電路元器件的線(xiàn)路縮小,耐壓降低,線(xiàn)路面積減小,使得器件耐靜電沖擊能力的減弱,靜電電場(chǎng)(Static Electric Field)和靜電電流(ESDcurrent)成為這些高密度元器件的致命殺手。同時(shí)大量的塑料制品等高絕緣材料的普遍應(yīng)用,導(dǎo)致產(chǎn)生靜電的機(jī)會(huì)大增。日常生活中如走動(dòng),空氣流動(dòng),搬運(yùn)等都能產(chǎn)生靜電。人們一般認(rèn)為只有CMOS類(lèi)的晶片才對(duì)靜電敏感,實(shí)際上,集成度高的元器件電路都很敏感。

  A.靜電對(duì)電子元件的影響

  A) 靜電吸附灰塵,改變線(xiàn)路間的阻抗,影響產(chǎn)品的功能與壽命。

  B) 因電場(chǎng)或電流破壞元件的絕緣或?qū)w,使元件不能工作(完全破壞)。

  C) 因瞬間的電場(chǎng)或電流產(chǎn)生的熱,元件受傷,仍能工作,壽命受損。

  B、靜電損傷的特點(diǎn):

  1.隱蔽性人體不能直接感知靜電,除非發(fā)生靜電放電,但發(fā)生靜電放電,人體也不一定能有電擊的感覺(jué)。這是因?yàn)槿梭w感知的靜電放電電壓為2-3KV。

  2.潛伏性有些電子元器件受到靜電損傷后性能沒(méi)有明顯的下降,但多次累加放電會(huì)給器件造成內(nèi)傷而形成隱患,而且增加了器件對(duì)靜電的敏感性。已產(chǎn)生的問(wèn)題并無(wú)任何方法可治愈。

  3.隨機(jī)性電子元件什么情況下會(huì)遭受到靜電破壞呢?可以這么說(shuō),從一個(gè)元件生產(chǎn)后一直到它損壞以前所有的過(guò)程都受到靜電的威脅,而這些靜電的產(chǎn)生也具有隨機(jī)性。由于靜電的產(chǎn)生和放電都是瞬間發(fā)生的,及難預(yù)測(cè)和

  4.復(fù)雜性靜電放電損傷分板工作,因電子產(chǎn)品的精細(xì),微小的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)而費(fèi)時(shí)、費(fèi)事、費(fèi)錢(qián),要求較復(fù)雜的技術(shù)往往需要使用掃描電鏡等精密儀器,即使如此有些靜電損傷現(xiàn)象也 難以與其他原因造成的損傷加以區(qū)別,使人誤把靜電損傷失效當(dāng)作其它失效,這是對(duì)靜電放電損害未充分認(rèn)識(shí)之前,常常歸咎于早期失效或情況不明的失效 ,從而不自覺(jué)的掩蓋了失效的真正原因。

  5.嚴(yán)重性ESD問(wèn)題表面上看來(lái)只影響了制成品的用家,但實(shí)際上亦影響了各層次的制造商,如:保用費(fèi)、維修及公司的聲譽(yù)等等。

  四、ESD三種型式

  1. 人體型式即指當(dāng)人體活動(dòng)時(shí)身體和衣服之間的摩擦產(chǎn)生摩擦電荷。當(dāng)人們手持ESD敏感的裝置而不先拽放電荷到地,摩擦電荷將會(huì)移向ESD敏感的裝置而造成損壞。

  2.微電子器件帶電型式既指這些ESD敏感的裝置,尤其對(duì)塑料件,當(dāng)在自動(dòng)化生產(chǎn)過(guò)程中,會(huì)產(chǎn)生摩擦電荷,而這些摩擦電荷通過(guò)低電阻的線(xiàn)路非常迅速地瀉放到高度導(dǎo)電的牢固接地表面,因此造成損壞;或者通過(guò)感應(yīng)使ESD敏感的裝置的金屬部分帶電而造成損壞。

  3.場(chǎng)感類(lèi)型式即有強(qiáng)電場(chǎng)圍繞,這可能來(lái)之于塑性材料或人的衣服,會(huì)發(fā)生電子轉(zhuǎn)化跨過(guò)氧化層。若電位差超過(guò)氧化層的介電常數(shù),側(cè)會(huì)產(chǎn)生電弧以破壞氧化層,其結(jié)果為短路。

  4.其它還有:?髂J?、场澡幙腜汀⑷頌褰鶚裟P?、悼d蘺詈夏P汀⑿?∑骷?P汀?br>五、靜電防護(hù)

  1.  接地


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