LCD清洗技術(shù)現(xiàn)狀及展望

LCD清洗屬于精密清洗領(lǐng)域，對(duì)清洗的質(zhì)量、效率要求很高，以前，LCD工廠大多使用的是ODS清潔劑和超聲氣相清洗技術(shù)，在國(guó)際上加速淘汰ODS清潔劑的壓力下，LCD廠正在積極選用替代ODS清潔劑(或稱非ODS清洗劑)，替代清洗劑必須保證清洗的LCD質(zhì)量不低于原用ODS清洗劑的清洗標(biāo)準(zhǔn)，甚至更高。本文簡(jiǎn)單介紹LCD替代ODS清洗技術(shù)和不用或少用清洗劑的物理清洗技術(shù)，并對(duì)其未來(lái)的發(fā)展進(jìn)行了簡(jiǎn)單評(píng)說(shuō)。

非ODS清洗技術(shù)

到目前為止，LCD行業(yè)已有15家企業(yè)參與了《中國(guó)清洗行業(yè)ODS整體淘汰計(jì)劃》，并獲得國(guó)際多邊基會(huì)贈(zèng)款。其中已有10家企業(yè)的替代設(shè)備投入運(yùn)行。但仍有少數(shù)LCD廠繼續(xù)使用CFC-113及TCA。部分已淘汰ODS清洗劑的企業(yè)也面臨進(jìn)一步優(yōu)選工藝、設(shè)備及非ODS清洗劑，以便提高LCD清洗品質(zhì)及效益的問(wèn)題。以下討論LCD行業(yè)非ODS清洗技術(shù)的現(xiàn)狀。

非ODS清洗劑及其工藝路線的選擇

適用于LCD行業(yè)的非ODS清洗劑有水基、半水基和溶劑型三種， 水基、半水基清洗劑適用于超聲水洗工藝路線，溶劑型清洗劑適用于氣相超聲清洗工藝路線。表1列舉了各種清洗技術(shù)的比較，列舉了部分溶劑型HCFC和 HFC等替代物的基本物化性能指標(biāo)。

水基、半水基及溶劑型三種替代清洗劑中，水基清洗劑的清洗速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)不及溶劑和半水基型清洗劑。其原因有二：一是水基清洗劑去除LCD殘留液晶以表面活性劑與液晶的乳化作用為主，乳化對(duì)超聲波的依賴性較大；二是水的表面張力比溶劑大，對(duì)狹縫的濕潤(rùn)性能較差。而表面張力較低的半水基和溶劑型清洗劑與液晶是一種溶解作用。

可用于直接替代CFC-113氣相清洗劑的溶劑型清洗劑包括HCFC、HFC、n-PB、HFE、低沸點(diǎn)碳?xì)浠衔锛捌浜跹苌铩Ｆ渲蠬CFC類(lèi)如HCFC141b、HCFC225，因ODP值不等于0，為過(guò)渡性替代物;n-PB等鹵代烴在有水存在時(shí)對(duì)ITO具有較大的腐蝕性，而且n-PB的毒性至今尚無(wú)定論；HFC及HFE類(lèi)的優(yōu)點(diǎn)是ODP等于0，但價(jià)格昂貴，且HFC4310具有極高的GWP值，低沸點(diǎn)的碳?xì)浠衔锛捌浜跹苌镒畲蟮膯?wèn)題是易燃易爆，使用該類(lèi)清洗劑必須采用有防爆功能的清洗設(shè)備。

基于上述水基清洗劑的清洗效力較低和溶劑型清洗劑的諸多問(wèn)題。國(guó)內(nèi)外絕大部分LCD企業(yè)采用半水基清洗劑作為CFC-113的替代物，使用閃點(diǎn)大于等于61℃碳?xì)浠衔锛缺ＷC了清洗劑在使用、存儲(chǔ)和運(yùn)輸過(guò)程中的安全性，又利用碳?xì)浠衔锱c液晶的互溶性，較快的清洗殘留液晶，并輔以表面活性劑經(jīng)多道水漂洗，可以滿足LCD行業(yè)對(duì)清洗的品質(zhì)和效率越來(lái)越高的要求。

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