Entegris 發(fā)布新型 VaporSorb? 過濾器

　　Entegris Inc.是一家為先進(jìn)制造環(huán)境提供良率提升材料和解決方案的領(lǐng)先企業(yè),公司今日發(fā)布了 VaporSorb 系列氣體分子污染 (AMC) 過濾器的衍生產(chǎn)品。VaporSorb 是領(lǐng)先的過濾器品牌，在半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵步驟中主要用于潔凈室環(huán)境和生產(chǎn)機(jī)臺。VaporSorb 過濾器已發(fā)展為捕獲氣體有機(jī)物、堿基類和強(qiáng)酸的一體式過濾器。新型 VaporSorb TRK 添加了獨(dú)特材料，是首款不僅能夠捕獲三大核心污染物，而且還能捕獲第四類污染物(定義為弱酸的一組污染物)的過濾器。

　　此款新型過濾器是專為光刻涂膠機(jī)臺/顯影機(jī)臺而設(shè)計(jì)的以之前的“三合一”技術(shù)為基礎(chǔ)的“四合一”過濾器，避免了多層過濾器的復(fù)雜處理方式。此外，此款過濾器保留了 VaporSorb 業(yè)界領(lǐng)先的使用壽命優(yōu)勢，從而能夠降低機(jī)臺停機(jī)時(shí)間和使用成本。

　　Entegris AMC 過濾服務(wù)業(yè)務(wù)高級產(chǎn)品營銷經(jīng)理 Joe Wildgoose 表示：“解決當(dāng)今的光刻法產(chǎn)量問題可從過濾一種潛在污染物(即弱酸)開始。VaporSorb TRK 不僅是三大常見污染物問題的一體化解決方案，而且還能解決有關(guān)弱酸氣體污染物的最新問題?！?/p>

　　弱酸包括乙酸和甲酸(醋酸鹽;CH3COO- 和甲酸鹽;HCOO-)以及亞硝酸(亞硝酸鹽;NO2-)等。這些污染物會導(dǎo)致光刻法工藝缺陷和良率問題，因?yàn)樗鼈儫o法被傳統(tǒng)的 AMC 過濾器濾除。此外，在使用傳統(tǒng)過濾器時(shí)，有機(jī)污染物可能會形成弱酸污染物。

　　VaporSorb 過濾器采用一種獨(dú)特的混合材料，可捕獲氣體分子污染物。該混合材料可通過添加一種新型吸附劑進(jìn)行改進(jìn)，從而打造出全新的四合一過濾器?，F(xiàn)場的最終用戶測試已證實(shí)，該過濾器能夠捕獲會導(dǎo)致晶圓或設(shè)備缺陷的所有有機(jī)物、堿基類、強(qiáng)酸和弱酸。

　　Entegris?、Entegris Rings Design?和 VaporSorb? 是 Entegris, Inc. 在美國及其他國家的商標(biāo)或注冊商標(biāo)。