現(xiàn)代精密量?jī)x現(xiàn)狀及水平
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K廠齒輪閉環(huán)制造系統(tǒng)示意圖
(3) 剃齒刀閉環(huán)制造系統(tǒng)——日本大阪精機(jī)將齒輪測(cè)量?jī)x器和剃齒刀磨床通過計(jì)算機(jī)聯(lián)系起來，構(gòu)成一個(gè)閉環(huán)的剃齒刀磨齒系統(tǒng)：將初磨后測(cè)量的結(jié)果和剃齒刀數(shù)據(jù)庫(kù)中的參數(shù)進(jìn)行比較，再對(duì)磨齒機(jī)加工參數(shù)進(jìn)行修正，從而保證精磨合格。
2.3在線在機(jī)測(cè)量技術(shù)
在線在機(jī)測(cè)量技術(shù)以及工位量?jī)x、主動(dòng)量?jī)x是大批量生產(chǎn)時(shí)保證加工質(zhì)量的重要手段。計(jì)量型儀器進(jìn)入生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)、融入生產(chǎn)線，監(jiān)控生產(chǎn)過程。對(duì)儀器的高可靠性、高效率、高精度以及質(zhì)量統(tǒng)計(jì)功能、故障診斷功能提出了新的要求，而近年來開發(fā)的各種在線在機(jī)測(cè)量?jī)x器滿足了這些要求。
（1）三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)進(jìn)入汽車大型覆蓋件生產(chǎn)線——美國(guó)Brown Sharp公司的Bravo-NT測(cè)量機(jī)可在汽車生產(chǎn)線上對(duì)車身尺寸實(shí)施在線測(cè)量并充分滿足汽車生產(chǎn)線對(duì)測(cè)量節(jié)拍、測(cè)量精度和測(cè)量可靠性的要求。
Bravo-NT三坐標(biāo)機(jī)測(cè)量汽車車身
Kapp磨齒機(jī)上的測(cè)量裝置
ITW齒輪在線測(cè)量分選機(jī)
2.4大尺寸、復(fù)雜幾何型面輪廓測(cè)量技術(shù)及儀器、反求工程測(cè)量技術(shù)及儀器的發(fā)展
（1）可移動(dòng)、多關(guān)節(jié)式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，便于現(xiàn)場(chǎng)使用——Poli、Fardarm公司的多關(guān)節(jié)式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，采用了高精度光柵和內(nèi)置平衡系統(tǒng)，且?guī)в袦囟妊a(bǔ)償，精度可達(dá)±0.025mm/1.2m球；加拿大EAGLE精密技術(shù)公司的EPT TMS-100彎管測(cè)量系統(tǒng)，具有接觸式和紅外非接觸式兩種測(cè)頭，以及與數(shù)控彎管機(jī)全兼容的零件庫(kù)和誤差校正信息庫(kù)，可與數(shù)控彎管機(jī)集成為一個(gè)完整的、信息融通的閉環(huán)彎管制造系統(tǒng)，特別適用于航空發(fā)動(dòng)機(jī)制造業(yè)。
Eagle多關(guān)節(jié)彎管測(cè)量?jī)x
美國(guó)的車身視覺測(cè)量系統(tǒng)
API激光測(cè)量系統(tǒng)
隨著激光測(cè)量技術(shù)的發(fā)展，納米分辨率激光干涉測(cè)量系統(tǒng)在超精測(cè)量和超精加工機(jī)床上得到廣泛應(yīng)用。
(1) 英國(guó)Renishaw公司展出的金牌M10激光干涉測(cè)量系統(tǒng)，配備了靈敏度和精度更高的溫度、氣壓、濕度傳感器和金牌EC10環(huán)境補(bǔ)償裝置，提高了測(cè)量精度，其穩(wěn)頻精度可達(dá)±0.05ppm,線性測(cè)量精度±0.7ppm，分辨率可達(dá)1納米，是激光測(cè)量技術(shù)發(fā)展的典型代表。
(2) 德國(guó)SIOS的小型激光干涉儀系列產(chǎn)品，有微型平面干涉儀、激光干涉測(cè)頭等，可以和用戶多種測(cè)量系統(tǒng)結(jié)合，據(jù)稱特別適用于完成各種小尺寸范圍的納米測(cè)量任務(wù)。
SIOS微型激光干涉儀
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