激光測量在數(shù)控機(jī)床定位中的應(yīng)用
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1．測量隱理
由激光頭激光諧振腔發(fā)出的He一Ne激光束，經(jīng)激光偏轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)分裂為頻率分別為f1和f2的線偏振光束，經(jīng)取樣系統(tǒng)分離出一小部分光束被光電檢測器接收作為參考訊號，其余光束經(jīng)回轉(zhuǎn)光學(xué)系統(tǒng)放大和準(zhǔn)直，被干涉鏡接收反射到光電檢測器上。機(jī)床運(yùn)動使干涉鏡和反射鏡之間發(fā)生相對位移，兩束光發(fā)生多普勒效應(yīng)，產(chǎn)生多普勒頻移±Δf。光電檢測器接收到的頻率訊號（f1-f2±Δf）和參考訊號（f1-f2）被送到測量顯示器，經(jīng)頻率放大、脈沖計(jì)數(shù)，送人數(shù)字總線，最后經(jīng)數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)進(jìn)行處理，得到所測量的位移量，即可評定數(shù)控機(jī)床的定位精度。
2．測量方法
（2）在需測量的機(jī)床坐標(biāo)軸線方向安裝光學(xué)測量裝置。典型的安裝如圖2所示：
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