氣電組合測量技術(shù)

　　氣電組合測量儀是應(yīng)用氣動測量的方法，在檢測時自動將工件尺寸的微小變化轉(zhuǎn)換成空氣壓力的變化，然后通過氣電轉(zhuǎn)換裝置將空氣壓力的變化轉(zhuǎn)換成電量的變化，再經(jīng)邏輯放大運(yùn)算處理后用數(shù)字顯示出來的高精度自動檢測儀器。

　　例如用它測世圖3所示曲柄工件上直徑20毫米的孔與直徑25毫米的軸的平行度(允許平行度誤差為100:0.02)。如圖4所示，采用軸為測t墓準(zhǔn)，將工件2上的軸裝入!儀體3的定位孔中，同時把雙管測頭1擂入被測孔內(nèi)。若被測孔軸心線不平行于墓準(zhǔn)軸心線，則雙管測頭的測量示值不同，為了將這兩個不同的空氣壓力量轉(zhuǎn)換成電信號，氣電組合量儀用了兩個氣電轉(zhuǎn)換器，分別申接于兩個測頭氣管中。氣電轉(zhuǎn)換器的結(jié)構(gòu)工作原理如圖5所示。

　　氣電轉(zhuǎn)換器工作

　　圖6一電感測微儀工作原理方框圖氣電組合測t儀具有許多優(yōu)點。其最小尺寸分辮率為0.1微米，信號穩(wěn)定性為2微米/8小時，測量性能可靠，操作使用方便，適用范圍廣，既適用于大批量生產(chǎn)測量，又適用于刁嗽t生產(chǎn)測量。但氣電組合量儀的價格較貴，所以目前主要使用在成批生產(chǎn)的測量中.可以相信，隨著我國電子工業(yè)、電子儀表制造業(yè)和檢測量具工業(yè)的發(fā)展，這種氣電組合量儀將會被廣泛應(yīng)用.時，氣流經(jīng)過濾器和穩(wěn)壓器形成清潔穩(wěn)定的壓縮空氣流送入氣電轉(zhuǎn)換器內(nèi)(如圖5中箭頭所示)，進(jìn)入的氣流分為兩路，一路經(jīng)噴嘴l進(jìn)人波紋管3的內(nèi)腔，經(jīng)由排氣噴嘴7排入大氣中;另一路經(jīng)進(jìn)氣噴嘴2進(jìn)人波紋管3的外腔，從測量噴嘴6噴出。由于工件被測尺寸的變化，測量噴嘴與工件之間的間隙也發(fā)生變化，從而改變了波紋管3內(nèi)外腔原來調(diào)定的空氣壓力差，使波紋管3沿軸向產(chǎn)生伸縮，并帶動磁芯4位移，使感應(yīng)線圈5中的電感量發(fā)生變化，電感量的變化被送到電感測微儀中。由于波紋管在氣壓微小變化的作用下也會產(chǎn)生伸縮，因此測量靈敏度高，測量精度也高。

　　為了將電感量的變化進(jìn)行邏輯運(yùn)算處理，并將處理結(jié)果用數(shù)字顯示出來，氣電組合量儀將兩個氣電轉(zhuǎn)換器的電信號輸出端同時接入一個數(shù)顯電感測微儀輸入端中運(yùn)算處理，由儀器將測量結(jié)果用數(shù)字顯示出來。電感測微儀工作原理方框圖如圖6所示。

　　氣電組合測量儀具有許多優(yōu)點。其最小尺寸分辮率為0.1微米，信號穩(wěn)定性為2微米/8小時，測量性能可靠，操作使用方便，適用范圍廣，既適用于大批t生產(chǎn)測量，又適用于小批量生產(chǎn)測量。但氣電組合量儀的價格較貴，所以目前主要使用在成批生產(chǎn)的測量中.可以相信，隨著我國電子工業(yè)、電子儀表制造業(yè)和檢測量具工業(yè)的發(fā)展，這種氣電組合量儀將會被廣泛應(yīng)用.