KLA-Tencor 以全新測(cè)量系統(tǒng)擴(kuò)充其 5D? 圖型控制方案

　　今天，KLA-Tencor Corporation推出兩款先進(jìn)的量測(cè)系統(tǒng)，可支持 16 納米及以下尺寸集成電路器件的開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)：Archer™ 500LCM 和 SpectraFilm™ LD10。Archer 500LCM 套刻測(cè)量系統(tǒng)在提升成品率的所有階段提供了準(zhǔn)確的套刻誤差反饋，可幫助芯片制造商解決新的圖型套刻問(wèn)題，例如多層光刻和隔離層掩膜分割。通過(guò)對(duì)薄膜厚度和應(yīng)力進(jìn)行可靠、準(zhǔn)確的測(cè)量，SpectraFilm LD10 薄膜測(cè)量系統(tǒng)能對(duì) FinFETs、3D NAND 和其他前沿器件中使用的薄膜和薄膜堆層進(jìn)行檢驗(yàn)和監(jiān)測(cè)。新系統(tǒng)為 KLA-Tencor 獨(dú)一無(wú)二的 5D™ 圖型控制方案的關(guān)鍵產(chǎn)品，可通過(guò)對(duì)整個(gè)半導(dǎo)體廠工藝的檢視和監(jiān)控來(lái)推動(dòng)最優(yōu)圖型結(jié)果。

　　KLA-Tencor 參數(shù)化方案集團(tuán)副總裁 Ahmad Khan 表示：“作為無(wú)損光學(xué)測(cè)量的業(yè)界領(lǐng)先公司，我們與客戶密切協(xié)作，以了解他們?cè)趦?yōu)化圖型套刻、關(guān)鍵尺寸和薄膜質(zhì)量方面遇到的挑戰(zhàn)。在代工廠、邏輯電路和存儲(chǔ)芯片廠，我們的客戶需要具備量產(chǎn)能力的測(cè)量系統(tǒng)，能夠闡釋復(fù)雜工藝問(wèn)題所需的數(shù)據(jù)。全功能測(cè)量系統(tǒng)，例如我們?nèi)碌?Archer 500LCM 和 SpectraFilm LD10 平臺(tái)，采用了多種創(chuàng)新技術(shù)，在多項(xiàng)應(yīng)用中具有測(cè)量靈活性，從而幫助我們的客戶推動(dòng)當(dāng)前節(jié)點(diǎn)成品率，并研發(fā)下個(gè)節(jié)點(diǎn)技術(shù)。”

　　Archer 500LCM 套刻測(cè)量系統(tǒng)既有成像測(cè)量又有獨(dú)一無(wú)二的基于激光的散射測(cè)量技術(shù)，提供多種測(cè)量選項(xiàng)，并支持各種套刻目標(biāo)設(shè)計(jì)，例如芯片內(nèi)、小間距或多層目標(biāo)。這種靈活性能夠經(jīng)濟(jì)高效地測(cè)出精確的套刻誤差數(shù)據(jù)，用于掃描曝光機(jī)校正或生產(chǎn)線上偏差識(shí)別，能夠幫助工程師判斷何時(shí)對(duì)晶圓進(jìn)行返工或者調(diào)整工藝，以滿足嚴(yán)格的圖型要求。多個(gè)Archer 500 LCM 系統(tǒng)已在全球的代工廠、邏輯電路制造商和存儲(chǔ)器制造商中使用，可提供套刻性能的獨(dú)立評(píng)估，用于前沿的開(kāi)發(fā)和量產(chǎn)。

　　SpectraFilm LD10 推出了激光驅(qū)動(dòng)的等離子光源，用于各類薄膜層的可靠、高精度的測(cè)量，包括用于FinFET 等復(fù)雜器件結(jié)構(gòu)的極薄的多層薄膜測(cè)量。3D NAND 閃存器件中的薄膜層具有厚且多層的特點(diǎn)，啟用了基于紅外的全新子系統(tǒng)。與上一代的 Aleris® 平臺(tái)相比，SpectraFilm LD10 的處理速度大幅增加，不僅擁有高產(chǎn)能，而且還能檢驗(yàn)和監(jiān)控與多重光刻及其他領(lǐng)先制造方法相關(guān)的更多層數(shù)的薄膜層。 SpectraFilm LD10 已收到多個(gè)訂單，用于先進(jìn)的集成電路開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)。

　　Archer 500LCM 和 SpectraFilm LD10 系統(tǒng)加入了 SpectraShape™ 9000 關(guān)鍵尺寸和器件形貌測(cè)量平臺(tái)、K-T Analyzer® 先進(jìn)數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)，以及其他眾多工藝控制系統(tǒng)，可支持 KLA-Tencor 的綜合 5D 圖型控制方案。為了保持高性能和高產(chǎn)能，滿足最先進(jìn)的集成電路生產(chǎn)需要，Archer 500LCM 和 SpectraFilm LD10 系統(tǒng)由 KLA-Tencor 的全球綜合服務(wù)網(wǎng)絡(luò)提供支持。關(guān)于更多信息，請(qǐng)參閱 5D 圖型控制方案網(wǎng)頁(yè)。