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一種新穎的電子式PS壓力傳感器

作者:江蘇省理化測(cè)試中心 馮乙引 時(shí)間:2008-07-07 來(lái)源:半導(dǎo)體應(yīng)用網(wǎng) 收藏

  概述

本文引用地址:http://butianyuan.cn/article/85337.htm

  是一種利用膜片結(jié)構(gòu)制成的,它可將空氣這一物理量變換成電信號(hào), 并能夠高精度、線性地檢測(cè)出壓力的變化。它是松下電工公司近年推出的新產(chǎn)品。

  早在1954年美國(guó)C.S.Smith首先確認(rèn)了壓電電阻效應(yīng),1955年C.Herring指出:這種壓電電阻效應(yīng)是由于應(yīng)力的作用,引起導(dǎo)體與價(jià)電子帶能量狀態(tài)的變化,以及載流子數(shù)量與遷移率變化所產(chǎn)生的一種現(xiàn)象。日本從1970年開(kāi)始研究開(kāi)發(fā),首先應(yīng)用在血壓計(jì)上,之后在過(guò)程控制領(lǐng)域及轎車發(fā)動(dòng)機(jī)控制部分都獲得了廣泛的應(yīng)用。最近幾年在家用電器、裝配機(jī)器人等應(yīng)用領(lǐng)域普遍采用電子壓力作為壓力控制、壓力監(jiān)控和判斷真空吸附的效果。

圖1

  工作原理

  圖1為壓力傳感器的截面結(jié)構(gòu)圖,圖2為其傳感器部分的結(jié)構(gòu)。如圖所示,在壓力傳感器硅片上有一層擴(kuò)散電阻體,如果對(duì)這一電阻體施加壓力,由于壓電電阻效應(yīng),其電阻值將發(fā)生變化。受到應(yīng)變的部分,即膜片由于容易感壓而變薄,為了減緩來(lái)自傳感器底座應(yīng)力的影響,將壓力傳感器片安裝在玻璃基座上。

圖2

  如圖2(b)所示,當(dāng)向空腔部分加上一定的壓力時(shí),膜片受到一定程度的拉伸或收縮而產(chǎn)生形變。壓電電阻的排列方法如圖3所示,受到拉伸的電阻R2和R4的阻值增加;受到壓縮的電阻R1和R3阻值減小。

圖3

  由于各壓電電阻如圖4那樣組成橋路結(jié)構(gòu),如果將它們連接到恒流源上,則由于壓力的增減,將在輸出端獲得輸出電壓ΔV,ΔV的大小由下式?jīng)Q定:

  在(1)式中,當(dāng)壓力為零時(shí)的ΔV等于偏置電壓Voffset,在理想狀態(tài)下我們希望Voffset=0V,實(shí)際上在生成擴(kuò)散電阻體時(shí),由于所形成的擴(kuò)散電阻體尺寸大小的不同和存在雜質(zhì)濃度的微小差異,因此總是有某個(gè)電壓值存在。壓力為零時(shí),R1=R2=R3=R4=R,我們把加上一定壓力時(shí)R1、R2電阻的變化部分記作ΔR;相應(yīng)R3、R4電阻的變化部分記作-ΔR,于是(1)式就簡(jiǎn)化為下式:

  ΔV=ΔRI (2)

  這個(gè)ΔV相對(duì)壓力呈現(xiàn)幾乎完全線性的特性,只是隨著溫度的變化而有所改變。

  外圍電路的設(shè)計(jì)

  圖4是壓力傳感器的外圍電路設(shè)計(jì)實(shí)例,圖中用恒流源來(lái)驅(qū)動(dòng)壓力傳感器。

圖4

  由于橋路失衡時(shí)的輸出電壓比較小,所以必須用運(yùn)放IC1b和IC1C來(lái)進(jìn)行放大。圖中VR1為偏置調(diào)整,VR2為壓力靈敏度調(diào)整,VR3為沒(méi)有加壓時(shí)輸出電壓調(diào)整,C1、C2用于去除噪聲。另外,如果電源電壓波動(dòng)的話,將引起輸出電壓的變化,所以必須給電路提供一個(gè)穩(wěn)定的電源。

  應(yīng)用實(shí)例

  圖6是PS壓力傳感器在全自動(dòng)洗衣機(jī)中的應(yīng)用實(shí)例。如圖所示,利用氣室,將在不同水位情況下水壓的變化,作為空氣壓力的變化檢測(cè)出來(lái),從而可以在設(shè)定的水位上自動(dòng)停止向洗衣機(jī)注水。

圖5



評(píng)論


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