掩模版：產(chǎn)業(yè)鏈合作圖共贏 打破壟斷盼扶持

　　作為轉(zhuǎn)移微細(xì)圖形的工具，掩模版是TFT-LCD(薄膜晶體管液晶顯示器)制造過程中必不可少的材料，對(duì)TFT產(chǎn)業(yè)至關(guān)重要。由于當(dāng)前掩模版市場(chǎng)主要被國外企業(yè)所壟斷，我國要發(fā)展TFT產(chǎn)業(yè)，掩模版的國產(chǎn)化顯得尤為重要。

　　掩模版是產(chǎn)業(yè)鏈重要環(huán)節(jié)

　　和集成電路的生產(chǎn)一樣，TFT-LCD在制造過程中也需要利用光刻工藝把沉積在基板上的薄膜(金屬、介質(zhì)或透明導(dǎo)電玻璃等)制作成一定的圖形，這種圖形轉(zhuǎn)移的母版就是掩模版。對(duì)于一種產(chǎn)品而言，其生產(chǎn)過程中有多少次光刻就需要多少張不同圖形的掩模版。

　　TFT-LCD與集成電路的區(qū)別在于，除了在陣列基板上制作晶體管時(shí)需要利用光刻工藝之外，彩色濾光片的制作同樣會(huì)用到掩模版。湖南普照信息材料有限公司總經(jīng)理王佳悅在接受《中國電子報(bào)》記者采訪時(shí)表示，在TFT-LCD制造過程中，光刻掩模版的作用相當(dāng)于照相的“底片”，面板廠商通過曝光的方式把掩模版上的圖形批量復(fù)制到最終的產(chǎn)品上，實(shí)現(xiàn)微細(xì)圖形的轉(zhuǎn)移。因此，作為母版的掩模版的質(zhì)量，在很大程度上決定了TFT-LCD最終產(chǎn)品的質(zhì)量，任何一個(gè)不起眼的瑕疵都有可能給面板廠商帶來巨大的損失。正因?yàn)槿绱?，掩模版在TFT-LCD生產(chǎn)中具有承上啟下的關(guān)鍵作用，是產(chǎn)業(yè)鏈中不可或缺的重要環(huán)節(jié)。“作為掩模版的基材，掩模基版(勻膠鉻版)的作用則相當(dāng)于照相的空白‘膠卷’，經(jīng)過光刻工藝將微細(xì)電子圖形刻蝕于其上，制作成‘底片’———掩模版。”王佳悅以形象的比喻對(duì)記者介紹了掩?；娴淖饔?。他表示，作為光掩模加工過程中不可替代的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，勻膠鉻版的質(zhì)量又成為能夠左右掩模版質(zhì)量的關(guān)鍵因素，換言之，勻膠鉻版雖只是一種上游配套材料，但其質(zhì)量對(duì)于終端應(yīng)用產(chǎn)品而言也是至關(guān)重要的。

　　國產(chǎn)化是必然選擇

　　盡管掩模版及其基材在產(chǎn)業(yè)鏈中的重要性早已得到業(yè)界的公認(rèn)，但對(duì)于有志于打造完整的平板顯示產(chǎn)業(yè)鏈的中國大陸而言，掩模版及其基材還是一個(gè)薄弱環(huán)節(jié)。Micronic公司大中華區(qū)及美國區(qū)經(jīng)理戴曉兵告訴《中國電子報(bào)》記者，目前，全球每年近6億美元的顯示器(包括電視、電腦顯示屏、手機(jī)等)掩模版市場(chǎng)為日韓廠商所掌控，其中日本廠商占絕對(duì)多數(shù)，達(dá)到68%，其次為韓國廠商，在30%以上，我國臺(tái)灣地區(qū)廠商只占0.5%的份額，而中國大陸的份額只有0.1%。日本和韓國公司對(duì)中國市場(chǎng)極為關(guān)注，有兩家公司已在中國大陸購置土地，只待時(shí)機(jī)成熟，即可在中國大陸建廠，搶占商機(jī)。

　　在掩模版基材方面，中國同樣缺乏競(jìng)爭(zhēng)力。由于勻膠鉻版的生產(chǎn)工藝流程涉及精細(xì)拋光、清洗、鍍膜、勻膠等多個(gè)不同高技術(shù)領(lǐng)域，且對(duì)凈化要求極為苛刻(比如生產(chǎn)大尺寸石英掩?；鎸?duì)鍍膜裝片室的凈化要求高達(dá)0.1μm1級(jí))，因此長(zhǎng)期以來其生產(chǎn)技術(shù)一直被掌控在美國、日本及韓國等少數(shù)幾個(gè)廠家手中，加之隨著下游應(yīng)用產(chǎn)品不斷升級(jí)換代，對(duì)掩模版在尺寸、精度等方面也提出了更高要求，一直以來國內(nèi)廠家很難打破這一技術(shù)壁壘。從我國TFT-LCD產(chǎn)業(yè)的發(fā)展趨勢(shì)和當(dāng)前掩模版環(huán)節(jié)的國際競(jìng)爭(zhēng)態(tài)勢(shì)來看，掩模版及其基材的國產(chǎn)化已是迫在眉睫。