加速度計(jì)不再是MEMS專(zhuān)利 Epson完成石英加速度計(jì)開(kāi)發(fā)

　　由于感測(cè)加速度與角速度等物理量變化并非硅微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的專(zhuān)利，石英組件供貨商Epson Toyocom亦預(yù)定在2010年推出以石英為基礎(chǔ)的加速度感應(yīng)器，以分食龐大的加速度感應(yīng)器市場(chǎng)大餅。

　　Epson Toyocom開(kāi)發(fā)技術(shù)統(tǒng)括部暨商品企劃戰(zhàn)略部課長(zhǎng)宮澤輝久指出，該公司的石英加速度傳感器開(kāi)發(fā)已接近完成階段，預(yù)計(jì)在2010年進(jìn)行量產(chǎn)。

　　拜任天堂(Nintendo)的Wii游戲機(jī)和蘋(píng)果(Apple)iPhone熱潮所賜，加速度、角速度等感測(cè)組件也成當(dāng)紅炸子雞，讓硅微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)快速竄紅。不過(guò)，石英組件也已蓄積能量，不愿錯(cuò)失此一商機(jī)。Epson Toyocom開(kāi)發(fā)技術(shù)統(tǒng)括部暨商品企劃戰(zhàn)略部課長(zhǎng)宮澤輝久指出，石英音叉本身除可產(chǎn)生穩(wěn)定的頻率頻率外，在設(shè)計(jì)上略經(jīng)修改后，也可以扮演加速感應(yīng)器的角色。其動(dòng)作原理在于外界施加的力量會(huì)改變石英音叉的共振頻率，因此只要檢測(cè)石英共振頻率的變化，就能得知該力量的強(qiáng)度。

　　目前Epson Toyocom已開(kāi)發(fā)出石英加速度傳感器的原型，除了石英音叉本體外，該組件還包含其它周邊電路，系負(fù)責(zé)將頻域訊號(hào)轉(zhuǎn)換成模擬電壓輸出。該公司預(yù)計(jì)將在2010年量產(chǎn)以石英為基礎(chǔ)的第一款加速度傳感器，。

　　事實(shí)上，石英晶體除了被用來(lái)產(chǎn)生頻率訊號(hào)外，近年來(lái)也發(fā)展出許多不同的新應(yīng)用，如角速度感測(cè)、壓力感測(cè)等，均為石英組件已占有一席之地的領(lǐng)域。為持續(xù)擴(kuò)大戰(zhàn)果，Epson Toyocom的下一步計(jì)劃便是進(jìn)軍規(guī)模更龐大的加速度感應(yīng)器市場(chǎng)。

　　不過(guò)，石英加速度感應(yīng)器并非無(wú)懈可擊。例如與硅微機(jī)電系統(tǒng)加速度感應(yīng)器相比，石英方案的尺寸無(wú)法像前者般持續(xù)微縮，難以實(shí)現(xiàn)三軸加速度感應(yīng)功能。因此，宮澤認(rèn)為，未來(lái)石英和硅感應(yīng)器會(huì)自然而然地形成市場(chǎng)區(qū)隔，例如對(duì)高可靠度或偵測(cè)慢速移動(dòng)的應(yīng)用而言，石英方案會(huì)是比較理想的選擇，因?yàn)槭鞲衅骶邆浣趺庖哂跍囟茸兓奶匦?，且其噪聲水平只有硅微機(jī)電的十分之一左右，因此特別適合用來(lái)偵測(cè)微小的加速度變化。