新規(guī)范適應(yīng)技術(shù)進(jìn)步需求

　　潔凈技術(shù)是一門綜合技術(shù)，其涉及的領(lǐng)域主要包括生產(chǎn)工藝、空氣凈化、潔凈建筑以及生產(chǎn)中所需的物質(zhì)純化等技術(shù)，對于電子工業(yè)而言，還必須考慮生產(chǎn)車間的排風(fēng)問題。我們編寫國家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》(GB50472)的主導(dǎo)思想就是要使這個規(guī)范適應(yīng)綜合技術(shù)發(fā)展的需要。

　　電子產(chǎn)品潔凈廠房對空氣潔凈度和各類雜質(zhì)的控制有嚴(yán)格的要求，生產(chǎn)環(huán)境控制就是對與產(chǎn)品生產(chǎn)過程相關(guān)的各類污染物的控制。以集成電路制造為例，集成電路制造是利用高精密設(shè)備，將物理、化學(xué)、電子、機(jī)械等技術(shù)融合應(yīng)用于產(chǎn)品制造過程，為了獲得高質(zhì)量、高成品率，必須嚴(yán)格控制芯片缺陷。導(dǎo)致芯片缺陷的因素十分復(fù)雜，其污染源可能是來自空氣中的粒子、加工過程中使用的各類工藝介質(zhì)中的雜質(zhì)、清洗用純水中的雜質(zhì)或工器具帶來的雜質(zhì)。以集成電路生產(chǎn)為代表的電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程的連續(xù)性和自動化程度的不斷提高以及高精密制造設(shè)備的日益廣泛應(yīng)用，使電子工業(yè)潔凈廠房的形式、構(gòu)造和整體建造成本都發(fā)生了極大的變化，電子工業(yè)潔凈廠房采用多種使用功能的組合式建筑日益增多;電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及其制造設(shè)備的集成化、過程控制自動化、安全設(shè)施的日益完善，大大提高了電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性、安全可靠程度。電子產(chǎn)品生產(chǎn)不僅對生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度有嚴(yán)格要求，而且還對電子產(chǎn)品與生產(chǎn)過程直接接觸的各種高純介質(zhì)——— 高純水、高純氣體、高純化學(xué)品等的純度雜質(zhì)含量等有十分嚴(yán)格的要求;某些電子產(chǎn)品對振動、靜電、電磁干擾、電力供應(yīng)也有較為嚴(yán)格的要求。

　　基于電子工業(yè)潔凈廠房的上述特點，2001年頒布實施的國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》(GB50073)中的有關(guān)規(guī)定已不能滿足需要，尤其是在涉及化學(xué)分子污染物的控制以及安全、消防等方面更是需要制定新的規(guī)范條文。由國家住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部和國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局聯(lián)合發(fā)布，并從2009年7月1日開始實施的國家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》(GB50472)，正是以前述的電子工業(yè)潔凈廠房的特點和工程實踐為依據(jù)，結(jié)合我國電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計建造和運行的實際情況，認(rèn)真總結(jié)多年來電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計建造和運行方面的經(jīng)驗之后而制定的。