Si50x CMEMS?振蕩器是業(yè)界首款單晶片MEMS振蕩器，基于獨(dú)創(chuàng)的CMEMS?技術(shù)，首個(gè)在大批量生產(chǎn)中把MEMS架構(gòu)直接構(gòu)建于標(biāo)準(zhǔn)CMOS晶圓（Wafer）上，從而獲得完全集成的高可靠“CMOS+MEMS”單芯片解決方案。它的應(yīng)用包括數(shù)碼相機(jī)、存儲(chǔ)和內(nèi)存、ATM機(jī)、POS機(jī)和多功能打印機(jī)等。與現(xiàn)有的頻率控制解決方案相比，Si50x CMEMS振蕩器系列產(chǎn)品具有更小尺寸、更高可靠性、更佳抗老化性以及更高集成度。Silicon Labs的CMEMS?技術(shù)已經(jīng)授權(quán)給中芯國際以提供大規(guī)模的制造，將推動(dòng)MEMS產(chǎn)業(yè)邁向更高的集成度和性能。
CMEMS技術(shù)確保數(shù)據(jù)手冊中的性能具有10年的頻率穩(wěn)定性，并保證操作壽命性能是其他XO和MEMS振蕩器的10倍。CMEMS振蕩器緊密耦合MEMS諧振器、CMOS溫度傳感器和補(bǔ)償電路，從而在熱力瞬變時(shí)以及整個(gè)工業(yè)溫度范圍內(nèi)提供高穩(wěn)定的頻率輸出。它采用被動(dòng)補(bǔ)償，在設(shè)計(jì)中使用可抵消溫度變動(dòng)的材料。它還提供豐富的現(xiàn)場和工廠可編程特性，包括低功耗和低周期抖動(dòng)模式、可編程的上升/下降時(shí)間，以及可配置高/低輸出使能功能。
Si50x CMEMS振蕩器支持32kHz-100MHz之間的任意頻率。頻率穩(wěn)定性選項(xiàng)包括±20ppm、±30ppm和±50ppm，運(yùn)行溫度范圍支持商業(yè)應(yīng)用（-20℃至+70℃）和工業(yè)應(yīng)用（-40℃至+85℃）。Si50x振蕩器可提供網(wǎng)絡(luò)定制的2周樣品交付周期，它與現(xiàn)有的石英或MEMS振蕩器引腳和封裝兼容，可實(shí)現(xiàn)快速便捷的替換解決方案。Si50x系列產(chǎn)品包括四類產(chǎn)品，具有數(shù)千種靈活的定時(shí)配置。
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