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EEPW首頁 >> 主題列表 >> 介觀壓阻

介觀壓阻型微壓力傳感器設(shè)計

  • 運(yùn)用共振隧穿雙勢壘(DBRT)結(jié)構(gòu)中的一種壓阻效應(yīng)原理一介觀壓阻效應(yīng)，用GaAs／AlAs/InGaAs DBRT結(jié)構(gòu)薄膜作為敏感元件，設(shè)計了一個周邊固支平膜片結(jié)構(gòu)的壓力傳感器。并對介觀壓阻和普通壓阻靈敏度的量級作出了比較，驗(yàn)證了介觀壓阻效應(yīng)原理，可以提高壓力傳感器的靈敏度，為制造基于介觀壓阻效應(yīng)的新型超敏感型傳感器提供了一定的理論依據(jù)。
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介觀壓阻介紹

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