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我國研發(fā)出“零損傷”兆聲波半導體清洗設備

  •   盛美半導體設備(上海)有限公司3月17日在上海舉行的中國半導體國際展上展出一臺12英寸單片兆聲波清洗設備。這是國內(nèi)首臺具有自主知識產(chǎn)權(quán)的“零損傷”兆聲波半導體清洗設備。
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兆聲波介紹

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