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先鋒半導體實現(xiàn)刻蝕機核心部件國產(chǎn)化，配套臺積電全球首條5nm產(chǎn)線

• 據(jù)泰州日報報道，靖江先鋒半導體科技有限公司實現(xiàn)了大規(guī)格集成電路晶圓刻蝕機核心部件國產(chǎn)化，并將配套全球首條5納米芯片生產(chǎn)線。報道指出，先鋒半導體公司總經(jīng)理游利介紹，噴淋盤是芯片制造設備刻蝕機的主要部件，先鋒半導體產(chǎn)品將用于中微半導體公司生產(chǎn)的5納米刻蝕機，并應用于臺積電全球首條5納米制程生產(chǎn)線。資料顯示，先鋒半導體成立于2008年，是一家從事半導體器件、集成電路專用設備及零部件、航空和高端裝備精密部件研發(fā)、制造、銷售、服務于一體的國家高新技術企業(yè)，產(chǎn)品主要應用在刻蝕機、鍍膜機等集成電路裝備，供應給國內(nèi)外半導
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