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光罩介紹

  光罩   目錄   1簡介   2結構   1簡介   光罩(英文:Reticle, Mask):在制作IC的過程中,利用光蝕刻技術,在半導體上形成圖型,為將圖型復制於晶圓上,必須透過光罩做用的原理。比如沖洗照片時,利用底片將影像復制至相片上。   2結構   實體結構:布滿積體電路圖像的鉻金屬薄膜的石英玻璃片上的圖像。 倍縮光罩(Reticle):當鉻膜玻璃僅能局部覆蓋晶圓稱為 [ 查看詳細 ]

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