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光罩介紹

  光罩   目錄   1簡(jiǎn)介   2結(jié)構(gòu)   1簡(jiǎn)介   光罩(英文:Reticle, Mask):在制作IC的過程中,利用光蝕刻技術(shù),在半導(dǎo)體上形成圖型,為將圖型復(fù)制於晶圓上,必須透過光罩做用的原理。比如沖洗照片時(shí),利用底片將影像復(fù)制至相片上。   2結(jié)構(gòu)   實(shí)體結(jié)構(gòu):布滿積體電路圖像的鉻金屬薄膜的石英玻璃片上的圖像。 倍縮光罩(Reticle):當(dāng)鉻膜玻璃僅能局部覆蓋晶圓稱為 [ 查看詳細(xì) ]

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