準分子激光器文章進入準分子激光器技術社區(qū)

用于大尺寸液晶屏制造設備的退火工序的準分子激光器

　　日本Gigaphoton公司2016年6月24日宣布，開發(fā)出了用于制造平板顯示器(FPD)的極小激光退火工序用準分子激光器“GIGANEX”系列。不久前將該激光器配備在日本V-Technology公司的極小激光退火裝置上，供貨給了大尺寸液晶屏制造設備工廠用于LTPS(低溫多晶硅)TFT液晶面板制造。　　　　“GIGANEX”準分子激光器的機殼示意圖(照片出自Gigaphoton的新聞發(fā)布資料) 　　這是一款應用高可靠性半導體
關鍵字：液晶屏準分子激光器

248nm增透膜國際領先：準分子激光器應用擴展

　　248nm準分子激光器技術由于輸出波長短、能量高、具有窄的脈寬和很高的峰值功率，在工業(yè)、國防等方面，尤其是高功率激光系統包括248nm光刻技術、激光醫(yī)療、激光精細加工中具有極廣的應用前景，也是ICF領域一個重要的技術選項。248nm薄膜元件是準分子激光系統中重要的薄膜元器件，其光學損耗和抗激光損傷性能對激光系統的效率起著重大或決定性的作用。　　中國科學院上海光學精密機械研究所研究了LaF3、MgF2、Al2O3和SiO2薄膜的低吸收、低損耗蒸發(fā)沉積工藝，在此基礎上設計并制備了兩種248nm增透膜，
關鍵字：準分子激光器 248nm

共2條 1/1 1

準分子激光器介紹

準分子激光器 excimer laser 以準分子為工作物質的一類氣體激光器件。常用相對論電子束（能量大于200千電子伏特）或橫向快速脈沖放電來實現激勵。當受激態(tài)準分子的不穩(wěn)定分子鍵斷裂而離解成基態(tài)原子時，受激態(tài)的能量以激光輻射的形式放出。發(fā)展歷程編輯本段回目錄第一臺準分子激光器于1970年誕生，它利用強電子束激勵液態(tài)氙，獲得氙準分子的激射作用，激光波長為1720埃。隨后，氣相 [ 查看詳細 ]

準分子激光器 文章 進入準分子激光器技術社區(qū)

用于大尺寸液晶屏制造設備的退火工序的準分子激光器

248nm增透膜國際領先：準分子激光器應用擴展

準分子激光器介紹

熱門主題

準分子激光器文章進入準分子激光器技術社區(qū)