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諾發(fā)推出300mm VECTOR等離子增強化學(xué)氣相沉積平臺的最新增強版本

  • 　　中國上?！Z發(fā)系統(tǒng)有限公司正式推出VECTOR Express™新產(chǎn)品。VECTOR Express™是諾發(fā)公司300mm VECTOR等離子增強化學(xué)氣相沉積（PECVD）平臺的最新增強版本。VECTOR Express的工藝生產(chǎn)速度提高了40%，保持了業(yè)界領(lǐng)先的生產(chǎn)效率。此外，VECTOR Express還建立了薄膜工藝性能的新標(biāo)桿，使該設(shè)備能夠被延伸到45nm及以下工藝節(jié)點。 　　VECTOR Express之所以
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化學(xué)氣相沉積平臺介紹

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