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EEPW首頁 >> 主題列表 >> 復(fù)合量程

復(fù)合量程微加速度計動態(tài)特性分析

  • 1 引言
    隨著硅微機械技術(shù)的不斷發(fā)展，基于壓阻原理的微加速度計已成為商品。由于硅的機械性能優(yōu)良，這些微加速度計往往具有較高的抗過載能力。然而，有些物理過程存在相差上百倍的多個加速度值需要測量，需要測
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復(fù)合量程介紹

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