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EEPW首頁 >> 主題列表 >> 干膜光刻膠技術(shù)

泛林集團(tuán)在提高EUV光刻分辨率、生產(chǎn)率和良率取得技術(shù)突破

  • 泛林集團(tuán)與阿斯麥 (ASML) 和比利時微電子研究中心 (imec) 共同研發(fā)的全新干膜光刻膠技術(shù)將有助于提高EUV光刻的分辨率、生產(chǎn)率和良率。
  • 關(guān)鍵字： 泛林  EUV  干膜光刻膠技術(shù)  
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干膜光刻膠技術(shù)介紹

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