微型光機電系統(tǒng) 文章 進入微型光機電系統(tǒng)技術(shù)社區(qū)
發(fā)展中的MOEMS壓力傳感器
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微型光機電系統(tǒng)介紹
微型光機電系統(tǒng)的英文縮寫是“MOEMS”，它是微光學(xué)、微電子、微機械的結(jié)合產(chǎn)生出一類新的應(yīng)用范圍很廣的器件。MOEMS日益成為新的光學(xué)工具，已經(jīng)對許多基于光學(xué)的儀器顯示出應(yīng)用前景。 1959年，1965年諾貝爾物理學(xué)獎獲得者Richard P Feynman提出微型機械的構(gòu)想?！ ?962年，硅微型壓力傳感器問世，之后50～500微米的齒輪，齒輪泵，氣動渦輪及聯(lián)接件等微系統(tǒng)問世?！ ?966 [ 查看詳細 ]
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