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江蘇芯夢TSV先進封裝研發(fā)中心揭牌
- 8月8日,江蘇芯夢TSV先進封裝研發(fā)中心揭牌儀式在中吳潤金先進制造產(chǎn)業(yè)園舉行。據(jù)江蘇芯夢介紹,其TSV先進封裝研發(fā)中心為江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司打造,中心以水平式電化學沉積工藝為核心,以自主研發(fā)為導(dǎo)向,構(gòu)建先進封裝產(chǎn)業(yè)全工藝流程測試平臺。該研發(fā)中心總面積1232.8㎡,擁有千級和百級兩種測試潔凈環(huán)境。配備自研生產(chǎn)的Xtrim-ECD 電鍍設(shè)備及全套涂膠、曝光、顯影、蝕刻等先進封裝主流程工藝設(shè)備,可實現(xiàn)先進封裝中RDL、Bumping、TSV等電鍍工藝的打樣測試;同時還配備了Xtrim-FC
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