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平板導(dǎo)體深層缺陷定量檢測仿真研究

• 傳統(tǒng)渦流傳感器由于渦流的集膚效應(yīng)以及檢測中自身激勵(lì)的干擾，難以測量導(dǎo)體深層缺陷信息，為了提高渦流傳感器的檢測能力，設(shè)計(jì)了矩形線圈模型，并改變了線圈模型的方位，可以有效的克服渦流的集膚效應(yīng)，獲取深層缺陷的信息。并采用數(shù)理統(tǒng)計(jì)方法對定量檢測方法進(jìn)行了研究，得出了缺陷深度與信號幅值之間的數(shù)學(xué)規(guī)律，經(jīng)過驗(yàn)證，可以較為準(zhǔn)確地對缺陷進(jìn)行定量檢測。
• 關(guān)鍵字： 202108  渦流傳感器  深層缺陷  定量檢測  數(shù)理統(tǒng)計(jì)